[发明专利]一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机

权利要求书

1.一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机，其结构包括底座(1)、真空机(2)、输送装置(3)、密封装置(4)、镀膜箱(5)、阴极(6)、靶(7)、阳极(8)、氩离子机(9)，所述镀膜箱(5)底部与底座(1)相连接，所述真空机(2)、氩离子机(9)设在底座(1)上并分别与镀膜箱(5)底部相连通，所述镀膜箱(5)内部的上下两端分别设有阴极(6)、阳极(8)，所述阴极(6)底部连接有靶(7)，其特征在于：

所述输送装置(3)顶部横穿镀膜箱(5)，所述镀膜箱(5)的两端分别安装有密封装置(4)，所述密封装置(4)与输送装置(3)相配合；

所述输送装置(3)包括输送轮(a)、输送带(b)、重力轮(c)、导杆(d)、支架(e)，所述输送轮(a)设有2个并分别安装在镀膜箱(5)两侧，所述输送带(b)的两端分别与输送轮(a)相配合，所述支架(e)连接在镀膜箱(5)底部，所述导杆(d)贯穿支架(e)且底部与重力轮(c)相连接，所述重力轮(c)与输送带(b)滑动连接；

所述输送轮(a)包括轮子(a1)、挡板(a2)、推块(a3)，所述轮子(a1)的两面分别设有挡板(a2)，所述挡板(a2)外侧设有均匀分布的推块(a3)；

所述输送带(b)包括铰链(b1)、支杆(b2)、伸缩板(b3)，所述伸缩板(b3)之间通过铰链(b1)活动链接，所述伸缩板(b3)的两侧分别连接有支杆(b2)，所述支杆(b2)与推块(a3)相配合；

所述伸缩板(b3)包括固定板(b30)、弹力杆(b31)、弹簧(b32)、移动板(b33)、限位块(b34)，所述移动板(b33)内部设有空腔，该空腔内部设有限位块(b34)，所述限位块(b34)的两端分别通过弹力杆(b31)与固定板(b30)相连接，所述弹簧(b32)设在空腔内并套设在弹力杆(b31)上；

所述镀膜箱(5)的两侧分别设有空腔(50)，所述空腔(50)中间设有开口(51)；

所述密封装置(4)包括上密封板(40)、下密封板(41)、气缸(42)，所述上密封板(40)、下密封板(41)分别设在开口(51)的上下两侧并通过气缸(42)连接在空腔(50)中。

2.根据权利要求1所述的一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机，其特征在于：所述上密封板(40)、下密封板(41)均设有2个对应的半圆槽(43)。