[发明专利]一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机有效

专利信息
申请号: 201910988844.4 申请日: 2019-10-17
公开(公告)号: CN110629172B 公开(公告)日: 2022-02-01
发明(设计)人: 黄海山 申请(专利权)人: 深圳市瑞利泰德精密涂层有限公司
主分类号: C23C14/34 分类号: C23C14/34;C23C14/56
代理公司: 深圳市中科创为专利代理有限公司 44384 代理人: 杨春
地址: 518000 广东省深圳市宝*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 电容器 金属化 薄膜 加工 真空镀膜
【权利要求书】:

1.一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机,其结构包括底座(1)、真空机(2)、输送装置(3)、密封装置(4)、镀膜箱(5)、阴极(6)、靶(7)、阳极(8)、氩离子机(9),所述镀膜箱(5)底部与底座(1)相连接,所述真空机(2)、氩离子机(9)设在底座(1)上并分别与镀膜箱(5)底部相连通,所述镀膜箱(5)内部的上下两端分别设有阴极(6)、阳极(8),所述阴极(6)底部连接有靶(7),其特征在于:

所述输送装置(3)顶部横穿镀膜箱(5),所述镀膜箱(5)的两端分别安装有密封装置(4),所述密封装置(4)与输送装置(3)相配合;

所述输送装置(3)包括输送轮(a)、输送带(b)、重力轮(c)、导杆(d)、支架(e),所述输送轮(a)设有2个并分别安装在镀膜箱(5)两侧,所述输送带(b)的两端分别与输送轮(a)相配合,所述支架(e)连接在镀膜箱(5)底部,所述导杆(d)贯穿支架(e)且底部与重力轮(c)相连接,所述重力轮(c)与输送带(b)滑动连接;

所述输送轮(a)包括轮子(a1)、挡板(a2)、推块(a3),所述轮子(a1)的两面分别设有挡板(a2),所述挡板(a2)外侧设有均匀分布的推块(a3);

所述输送带(b)包括铰链(b1)、支杆(b2)、伸缩板(b3),所述伸缩板(b3)之间通过铰链(b1)活动链接,所述伸缩板(b3)的两侧分别连接有支杆(b2),所述支杆(b2)与推块(a3)相配合;

所述伸缩板(b3)包括固定板(b30)、弹力杆(b31)、弹簧(b32)、移动板(b33)、限位块(b34),所述移动板(b33)内部设有空腔,该空腔内部设有限位块(b34),所述限位块(b34)的两端分别通过弹力杆(b31)与固定板(b30)相连接,所述弹簧(b32)设在空腔内并套设在弹力杆(b31)上;

所述镀膜箱(5)的两侧分别设有空腔(50),所述空腔(50)中间设有开口(51);

所述密封装置(4)包括上密封板(40)、下密封板(41)、气缸(42),所述上密封板(40)、下密封板(41)分别设在开口(51)的上下两侧并通过气缸(42)连接在空腔(50)中。

2.根据权利要求1所述的一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机,其特征在于:所述上密封板(40)、下密封板(41)均设有2个对应的半圆槽(43)。

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