[发明专利]一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机

说明书

本发明公开了一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机，其结构包括底座、真空机、输送装置、密封装置、镀膜箱、阴极、靶、阳极、氩离子机，镀膜箱底部与底座相连接，真空机、氩离子机设在底座上并分别与镀膜箱底部相连通，镀膜箱内部的上下两端分别设有阴极、阳极，阴极底部连接有靶，输送装置顶部横穿镀膜箱，镀膜箱的两端分别安装有密封装置，密封装置与输送装置相配合，输送装置包括输送轮、输送带、重力轮、导杆、支架，本发明的有益效果是：通过密封装置的开关与输送带配合能够对镀膜箱进行密封，通过输送带能够使工件持续进行输送，比起取件加放件叠加的动作，能够减少停工的时间，提高那个工作效率。

技术领域

本发明涉及镀膜领域，具体地说是一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机。

背景技术

真空镀膜机主要思路是分成蒸发和溅射两种方式，溅射是在真空条件下，通入一定气压的氩气，氩气在高电压(300-800V)电场作用下电离为氩离子，氩离子加速轰击靶材，从而将靶材材料溅射到工件表面，形成薄膜。

目前的申请号为CN201810587447.1的本发明公开了一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机，包括真空镀膜箱，真空镀膜箱内设置有支撑组件、夹持组件、升降组件、翻转组件、镀膜组件、抽真空组件和密封组件，支撑组件包括两个支撑座，支撑座内部两端设置有支撑空腔，支撑空腔通过传动通道与支撑座表面相通，支撑空腔内设置有圆弧状的支撑滑槽，支撑滑槽的一端延伸出支撑空腔，支撑滑槽内滑动设置有支撑杆，支撑杆上设置有驱动齿条，支撑空腔内设置有与驱动齿条啮合的驱动齿轮，支撑座的上端面设置有传动架，传动架上设置有传动齿轮和与传动齿轮相连的支撑电机，传动齿轮与驱动齿轮之间连接有传动同步带，便于加工件地取放，减少加工件取放时间，提高镀膜加工效率，但该发明在取放工件时需要进行频繁取放的工作，通过间歇的方式进行取放，无法连续，增加了停工的时间，降低工作效率。

发明内容

本发明的主要目的在于克服现有技术的不足，提供一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机。

本发明采用如下技术方案来实现：一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机，其结构包括底座、真空机、输送装置、密封装置、镀膜箱、阴极、靶、阳极、氩离子机，所述镀膜箱底部与底座相连接，所述真空机、氩离子机设在底座上并分别与镀膜箱底部相连通，所述镀膜箱内部的上下两端分别设有阴极、阳极，所述阴极底部连接有靶，所述输送装置顶部横穿镀膜箱，所述镀膜箱的两端分别安装有密封装置，所述密封装置与输送装置相配合。

作为优化，所述输送装置包括输送轮、输送带、重力轮、导杆、支架，所述输送轮设有2个并分别安装在镀膜箱两侧，所述输送带的两端分别与输送轮相配合，所述支架连接在镀膜箱底部，所述导杆贯穿支架且底部与重力轮相连接，所述重力轮与输送带滑动连接。

作为优化，所述输送轮包括轮子、挡板、推块，所述轮子的两面分别设有挡板，所述挡板外侧设有均匀分布的推块。

作为优化，所述输送带包括铰链、支杆、伸缩板，所述伸缩板之间通过铰链活动链接，所述伸缩板的两侧分别连接有支杆，所述支杆与推块相配合。

作为优化，所述伸缩板包括固定板、弹力杆、弹簧、移动板、限位块，所述移动板内部设有空腔，该空腔内部设有限位块，所述限位块的两端分别通过弹力杆与固定板相连接，所述弹簧设在空腔内并套设在弹力杆上。

作为优化，所述镀膜箱的两侧分别设有空腔，所述空腔中间设有开口。

作为优化，所述密封装置包括上密封板、下密封板、气缸，所述上密封板、下密封板分别设在开口的上下两侧并通过气缸连接在空腔中。

作为优化，所述上密封板、下密封板均设有2个对应的半圆槽。

作为优化，所述上密封板、下密封板的相对边设有橡胶条。

作为优化，所述半圆槽内设有橡胶条，所述半圆槽与弹力杆相契合。