[发明专利]研磨液供应方法

权利要求书

1.一种研磨液供应方法，其特征在于，包括以下步骤：

S0：提供一种研磨液供应设备，包括第一压力罐、第二压力罐、阀箱、第一连接管和第二连接管，所述第一压力罐通过所述第一连接管与所述阀箱连接，所述第一连接管上设有第一气动阀，所述第二压力罐通过所述第二连接管与所述阀箱连接，所述阀箱上设有研磨设备连接管，所述研磨设备连接管与研磨设备连接，所述第二连接管上设有第二气动阀，所述第一压力罐上侧设有第一研磨液进入口和第一压力调节阀，所述第一压力罐内侧壁上设有第一高液位传感器和第一低液位传感器，所述第二压力罐上侧设有第二研磨液进入口和第二压力调节阀，所述第二压力罐内侧壁上设有第二高液位传感器和第二低液位传感器；

S1：关闭第一气动阀和第二气动阀，然后通过第一研磨液进入口向常压状态下的第一压力罐中注入研磨液，直至所述第一压力罐中研磨液的液位到达第一高液位传感器的检测位置；

S2：通过第一压力调节阀将所述第一压力罐加压至高压状态作为供应罐，同时通过第二压力调节阀将所述第二压力罐加压至低压状态作为回收罐，然后打开所述第一气动阀和所述第二气动阀，以使研磨液从所述第一压力罐依次经过第一连接管、阀箱和第二连接管流向所述第二压力罐，直至所述第一压力罐中研磨液的液位到达第一低液位传感器的检测位置，其中，研磨液流经所述阀箱时还经研磨设备连接管进入研磨设备；

S3：通过所述第一压力调节阀将所述第一压力罐减压至低压状态作为回收罐，然后关闭所述第二气动阀；

S4：通过所述第二压力调节阀将所述第二压力罐减压至常压状态，然后通过所述第二研磨液进入口向所述第二压力罐中注入研磨液，直至所述第二压力罐中研磨液的液位到达第二高液位传感器的检测位置；

S5：通过所述第二压力调节阀将所述第二压力罐加压至低压状态，然后打开所述第二气动阀；

S6：通过所述第二压力调节阀将所述第二压力罐加压至高压状态作为供应罐，以使研磨液从所述第二压力罐依次经所述第二连接管、阀箱和所述第一连接管流向所述第一压力罐，直至所述第二压力罐中研磨液的液位到达所述第二低液位传感器的检测位置，其中，研磨液流经所述阀箱时还经研磨设备连接管进入研磨设备。

2.根据权利要求1所述的研磨液供应方法，其特征在于，所述第一压力罐与所述第二压力罐的形状和大小均相同。

3.根据权利要求1所述的研磨液供应方法，其特征在于，所述第一压力罐和所述第二压力罐处于同一水平面上。

4.根据权利要求2或3所述的研磨液供应方法，其特征在于，所述第一高液位传感器和所述第二高液位传感器处于同一水平面上。

5.根据权利要求2或3所述的研磨液供应方法，其特征在于，所述第一低液位传感器和所述第二低液位传感器处于同一水平面上。

6.根据权利要求1所述的研磨液供应方法，其特征在于，所述第一连接管连接于所述第一压力罐的下侧。

7.根据权利要求1所述的研磨液供应方法，其特征在于，所述第二连接管连接于所述第二压力罐的下侧。

8.根据权利要求1所述的研磨液供应方法，其特征在于，所述第一研磨液进入口上设有第一研磨液注入阀。

9.根据权利要求1所述的研磨液供应方法，其特征在于，所述第二研磨液进入口上设有第二研磨液注入阀。