[发明专利]研磨液供应方法

说明书

本发明提供了一种研磨液供应设备，包括第一压力罐、第二压力罐、阀箱、第一连接管和第二连接管，所述第一压力罐上侧设有第一研磨液进入口和第一压力调节阀。采用可封闭的所述第一压力罐和所述第二压力罐来供应研磨液，且通过所述第一压力调节阀来调节所述第一压力罐内的压力，通过所述第二压力调节阀来调节所述第二压力罐内气压，通过气压做动力源，以使研磨液在所述第一压力罐和所述第二压力罐之间流动，无需气动泵或电动泵的使用，降低了成本，气压做动力源使得研磨液流速均一，保证了研磨液研磨的均一性。本发明还提供了一种所述研磨液供应设备用于实现研磨液供应的研磨液供应方法。

技术领域

本发明涉及研磨技术领域，尤其涉及一种研磨液供应设备及供应方法。

背景技术

研磨液是一种悬浮液，在液体中存在固体颗粒，为了防止固体颗粒团聚，供应系统中研磨液不能长时间静置。如图3所示，现有的研磨液供应系统中都采用气动泵和电动泵作为动力源将研磨液从供应槽中抽取出来，通过一段循环管路再回到供应槽中，使研磨液保持流动。

气动泵供应压力不平稳，输出的压力曲线为波动式，使得研磨设备对于流量的控制难度增加，而且研磨流速的不均匀，会影响到研磨的均一性；为了使输出压力尽可能的平稳，气动泵的管路上还需要添加减震器和背压阀等装置，减震器、背压阀以及气动泵的单价成本较高；气动泵反复运行摩擦，会导致气动泵腔体内的配件损耗，气动泵则需要定期更换，进一步的增加了投入成本。

电动泵的单价昂贵，一次性投入成本高；电动泵还需要额外的控制器，增加了设备的故障几率；电动泵的高速运转，会导致研磨液的温度升高。

而且现有供应系统中，供应槽为非密闭的，为了保持研磨液的湿度，需要增加加湿器等硬件设施，增加了设备的投入成本。

因此，有必要提供一种新型的研磨液供应设备及供应方法以解决现有技术中存在的上述问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种研磨液供应设备及供应方法，避免成本高、研磨流速不均以及泵对研磨液挤压与摩擦的问题。

为实现上述目的，本发明的所述研磨液供应设备，包括第一压力罐、第二压力罐、阀箱、第一连接管和第二连接管，所述第一压力罐通过所述第一连接管与所述阀箱连接，所述第一连接管上设有第一气动阀，所述第二压力罐通过所述第二连接管与所述阀箱连接，所述阀箱上设有研磨设备连接管，所述研磨设备连接管与研磨设备连接，所述第二连接管上设有第二气动阀，所述第一压力罐上侧设有第一研磨液进入口和第一压力调节阀，所述第一压力罐内侧壁上设有第一高液位传感器和第一低液位传感器，所述第二压力罐上侧设有第二研磨液进入口和第二压力调节阀，所述第二压力罐内侧壁上设有第二高液位传感器和第二低液位传感器。

本发明的有益效果在于：采用可封闭的所述第一压力罐和所述第二压力罐来供应研磨液，且通过所述第一压力调节阀来调节所述第一压力罐内的气压，通过所述第二压力调节阀来调节所述第二压力罐内气压，通过气压做动力源，以使研磨液在所述第一压力罐和所述第二压力罐之间流动，从而在研磨液流经所述阀箱时还经研磨设备连接管进入研磨设备，无需气动泵或电动泵的使用，降低了成本，气压做动力源使得研磨液流速均一，保证了研磨液研磨的均一性。

优选地，所述第一压力罐与所述第二压力罐的形状和大小均相同。其有益效果在于：能够使所述第一压力罐和所述第二压力罐内可以存储的研磨液量相同。

优选地，所述第一压力罐和所述第二压力罐处于同一水平面上。其有益效果在于：避免重力对所述第一压力罐和所述第二压力罐内的研磨液产生影响，保证研磨液在所述第一压力罐和所述第二压力罐内气压的作用下流动。

进一步优选地，所述第一高液位传感器和所述第二高液位传感器处于同一水平面上。其有益效果在于：保证所述第一高液位传感器和所述第二高液位传感器所检测的研磨液量相同。