[发明专利]一种半导体的无损切割夹具在审
申请号: | 201910992932.1 | 申请日: | 2019-10-18 |
公开(公告)号: | CN110757362A | 公开(公告)日: | 2020-02-07 |
发明(设计)人: | 庄仕伟 | 申请(专利权)人: | 苏师大半导体材料与设备研究院(邳州)有限公司 |
主分类号: | B25B11/00 | 分类号: | B25B11/00;B28D7/04 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 221300 江苏省徐州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体棒 立板 套筒 绝缘 束缚 导轨 滑套 切割夹具 切割位置 固定套 夹套 无损 半导体 结构稳定性 横向设置 间隔设置 间距调节 立柱顶部 向上延伸 成品率 同心的 立柱 外圆 底座 平行 | ||
1.一种半导体的无损切割夹具,用于半导体棒料切割时的夹持,其特征在于,包括:底座、立板、导轨和绝缘束缚套筒,所述立板竖直设置在底座上,所述立板中横向设置有夹套,所述半导体棒料设置在夹套中并向立板一侧水平延伸,所述导轨设置在立板一侧并与半导体棒料相平行,所述导轨上间隔设置有两个滑套,所述滑套上设置有向上延伸的立柱,所述立柱顶部设置有与半导体棒料同心的固定套,所述绝缘束缚套筒设置在固定套中,所述绝缘束缚套筒的内孔直径与半导体棒料的直径相对应。
2.根据权利要求1所述的半导体的无损切割夹具,其特征在于,所述立板中横向设置有通孔,所述夹套设置在通孔中。
3.根据权利要求2所述的半导体的无损切割夹具,其特征在于,所述夹套包括顶部V形块和底部V形块,所述顶部V形块相对设置在底部V形块的上方,所述立板顶部设置有向下指向顶部V形块的第一紧固螺丝。
4.根据权利要求1所述的半导体的无损切割夹具,其特征在于,所述固定套上设置有指向绝缘束缚套筒的第二紧固螺丝。
5.根据权利要求1所述的半导体的无损切割夹具,其特征在于,所述绝缘束缚套筒为陶瓷套筒或者尼龙套筒。
6.根据权利要求1所述的半导体的无损切割夹具,其特征在于,所述滑套上设置有指向导轨的第三紧固螺丝。
7.根据权利要求1所述的半导体的无损切割夹具,其特征在于,所述滑套上设置有与第三紧固螺丝对应的螺纹孔,所述导轨上轴向设置有与第三紧固螺丝对应的滑槽。
8.根据权利要求1所述的半导体的无损切割夹具,其特征在于,所述立板一侧设置有与导轨对应的插孔,立板另一侧设置有延伸至插孔而与导轨末端相连接的第四紧固螺丝。
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