[发明专利]一种晶圆加工机的二次整平设备

权利要求书

1.一种晶圆加工机的二次整平设备，其结构包括机体（1）、控制面板（2）、升降气缸（3）、整平机构（4），所述控制面板（2）安装于机体（1）正面，所述升降气缸（3）竖直安装于机体（1）上端并且采用机械连接，所述整平机构（4）水平安装于机体（1）上端；其特征在于：

所述整平机构（4）包括底架（41）、旋转结构（42）、晶圆放置结构（43）、压平板（44）、活动架（45）、导杆（46），所述底架（41）套设于旋转结构（42）外侧上端，所述晶圆放置结构（43）设有多个并且均匀分布于旋转结构（42）上端，所述压平板（44）竖直安装于活动架（45）下端，所述活动架（45）水平设于底架（41）上方，所述导杆（46）垂直安装于底架（41）上端，所述活动架（45）安装于升降气缸（3）前端。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆加工机的二次整平设备，其特征在于：所述旋转结构（42）包括触发旋转机构（421）、转盘（422）、安装轴（423），所述转盘（422）水平安装于触发旋转机构（421）上端，所述安装轴（423）下端嵌入安装于触发旋转机构（421）内侧。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆加工机的二次整平设备，其特征在于：所述触发旋转机构（421）包括固定座（21a）、活动结构（21b）、活动棘齿轮（21c）、弹簧（21d）、固定棘齿轮（21e）、滑套（21f），所述活动结构（21b）设于固定座（21a）内侧，所述安装轴（423）垂直安装于活动结构（21b）上端，所述活动棘齿轮（21c）机械连接于活动结构（21b）下端，所述弹簧（21d）套设于活动棘齿轮（21c）与固定棘齿轮（21e）外侧，所述固定棘齿轮（21e）固定安装于固定座（21a）内侧底部，所述滑套（21f）嵌入安装于固定座（21a）内侧，所述活动结构（21b）外侧抵在滑套（21f）内侧。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆加工机的二次整平设备，其特征在于：所述活动结构（21b）包括连接板（b1）、弹簧套板（b2）、滚珠（b3）、滚珠架（b4），所述弹簧套板（b2）焊接于连接板（b1）外侧，所述弹簧套板（b2）外侧安装有滚珠架（b4），所述滚珠（b3）嵌入安装于滚珠架（b4）内侧。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆加工机的二次整平设备，其特征在于：所述晶圆放置结构（43）包括嵌入块（431）、集屑槽（432）、集屑口（433）、放置盘（434）、吹气结构（435）、气管（436），所述集屑槽（432）设于嵌入块（431）内侧，所述集屑口（433）设于放置盘（434）内部左侧并且与集屑槽（432）相连通，所述吹气结构（435）嵌入安装于放置盘（434）内侧，所述气管（436）与吹气结构（435）相连接。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆加工机的二次整平设备，其特征在于：所述吹气结构（435）包括管道连接座（35a）、分散罩（35b）、隔板（35c）、吹气管（35d），所述管道连接座（35a）安装于分散罩（35b）右侧，所述隔板（35c）嵌入于分散罩（35b）左端内侧，所述吹气管（35d）嵌入安装于隔板（35c）内侧并且之间成60度夹角。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆加工机的二次整平设备，其特征在于：所述压平板（44）侧面设有除杂结构（440），所述除杂结构（440）包括弧支管（a）、上吹气管（b）、连接管（c），所述上吹气管（b）倾斜嵌入安装于弧支管（a）内侧，所述连接管（c）垂直安装于弧支管（a）下端。