[发明专利]一种结合单刀四掷开关的射频MEMS四路蛇形延时器在审
申请号: | 201910999781.2 | 申请日: | 2019-10-21 |
公开(公告)号: | CN110706981A | 公开(公告)日: | 2020-01-17 |
发明(设计)人: | 李强;张世义;李孟委;吴倩楠;朱光州 | 申请(专利权)人: | 中北大学 |
主分类号: | H01H59/00 | 分类号: | H01H59/00;H01H43/04;H01P1/10;H01P1/12 |
代理公司: | 11435 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 申绍中 |
地址: | 030051 山*** | 国省代码: | 山西;14 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 下电极 信号线 延时线 地线 电极 触点 第二信号 延时器 衬底 锚点 单刀 插入损耗 延时信号 一端设置 蛇形 可重构 体积小 延时量 级联 射频 延时 | ||
1.一种结合单刀四掷开关的射频MEMS四路蛇形延时器,其特征在于:包括衬底(1)、上电极(2)、信号线(3)、延时线(4)、地线(5)、锚点(6)、触点(7)、下电极(8),所述信号线(3)、下电极(8)、延时线(4)、地线(5)均固定在衬底(1)上,所述信号线(3)包括第一信号线(3-1)和第二信号线(3-2),所述上电极(2)的一端通过锚点(6)固定在第一信号线(3-1)上,所述下电极(8)的一端固定有触点(7),所述上电极(2)的另一端设置在触点(7)的正上方,所述下电极(8)的另一端通过第二信号线(3-2)与延时线(4)级联,所述地线(5)至少有两条,所述地线(5)位于信号线(3)和延时线(4)的两侧。
2.根据权利要求1所述的一种结合单刀四掷开关的射频MEMS四路蛇形延时器,其特征在于:所述第一信号线(3-1)为星型结构,所述第一信号线(3-1)包括一条主路(3-1-1)和四条支路(3-1-2),所述主路(3-1-1)分别与四条支路(3-1-2)连接,所述支路(3-1-2)通过锚点(6)固定有上电极(2)。
3.根据权利要求1所述的一种结合单刀四掷开关的射频MEMS四路蛇形延时器,其特征在于:所述延时线(4)为蛇形结构,所述延时线(4)有四组,每组延时线(4)的长度不同。
4.根据权利要求1所述的一种结合单刀四掷开关的射频MEMS四路蛇形延时器,其特征在于:所述地线(5)与信号线(3)、延时线(4)之间的距离保持不变。
5.根据权利要求1所述的一种结合单刀四掷开关的射频MEMS四路蛇形延时器,其特征在于:所述衬底(1)采用玻璃、陶瓷或高阻硅。
6.根据权利要求1所述的一种结合单刀四掷开关的射频MEMS四路蛇形延时器,其特征在于:所述上电极(2)和下电极(8)均为长方体结构。
7.根据权利要求1所述的一种结合单刀四掷开关的射频MEMS四路蛇形延时器,其特征在于:所述信号线(3)弯折处均采用弧形结构。
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