[发明专利]一种结合单刀四掷开关的射频MEMS四路蛇形延时器

说明书

本发明属于延时器技术领域，具体涉及一种结合单刀四掷开关的射频MEMS四路蛇形延时器，包括衬底、上电极、信号线、延时线、地线、锚点、触点、下电极，所述信号线、下电极、延时线、地线均固定在衬底上，所述信号线包括第一信号线和第二信号线，所述上电极的一端通过锚点固定在第一信号线上，所述下电极的一端固定有触点，所述上电极的另一端设置在触点的正上方，所述下电极的另一端通过第二信号线与延时线级联，所述地线至少有两条，所述地线位于信号线和延时线的两侧。本发明产生效延时信号时具有延时量大，插入损耗小，每位递变误差小，可重构，体积小等优点。本发明用于信号的延时。

技术领域

本发明属于延时器技术领域，具体涉及一种结合单刀四掷开关的射频MEMS四路蛇形延时器。

背景技术

射频MEMS延时器作为一种无源器件，是射频系统的基本组件之一，通过金属－金属接触或者金属－绝缘介质－金属形成的电容来传输或者隔离微波信号，具有插入损耗低，延时性能好等良好的微波性能，它可以广泛应用在各种射频、微波和毫米波通讯系统中，对雷达预警、战术战略侦察、卫星组网和制导等军事领域均有重要意义。

目前常用的延时器大多数采用混合集成的形成，延时单元采用电缆实现，其缺点是体积大、集成度低、产品一致性难以控制、高低温下性能变化较大难以满足未来产品需要。

发明内容

针对上述技术问题，提供了一种延时量大、插入损耗小的结合单刀四掷开关的射频MEMS四路蛇形延时器。

为了解决上述技术问题，本发明采用的技术方案为：

一种结合单刀四掷开关的射频MEMS四路蛇形延时器，包括衬底、上电极、信号线、延时线、地线、锚点、触点、下电极，所述信号线、下电极、延时线、地线均固定在衬底上，所述信号线包括第一信号线和第二信号线，所述上电极的一端通过锚点固定在第一信号线上，所述下电极的一端固定有触点，所述上电极的另一端设置在触点的正上方，所述下电极的另一端通过第二信号线与延时线级联，所述地线至少有两条，所述地线位于信号线和延时线的两侧。

所述第一信号线为星型结构，所述第一信号线包括一条主路和四条支路，所述主路分别与四条支路连接，所述支路通过锚点固定有上电极。

所述延时线为蛇形结构，所述延时线有四组，每组延时线的长度不同。

所述地线与信号线、延时线之间的距离保持不变。

所述衬底采用玻璃、陶瓷或高阻硅。

所述上电极和下电极均为长方体结构。

所述信号线弯折处均采用弧形结构。

本发明与现有技术相比，具有的有益效果是：

本发明采用上下电极之间设置触点，并且下电极与信号线相级联，信号线与延时蛇形线级联，信号线弯折处均采用弧形结构，可有效降低插入损耗，本发明产生效延时信号时具有延时量大，插入损耗小，每位递变误差小，可重构，体积小等优点。

附图说明

图1为本发明的结构示意图；

图2为本发明延时器开关的结构示意图；

图3为本发明延时线的结构示意图；

其中：1为衬底，2为上电极，3为信号线，4为延时线，5为地线，6为锚点，7为触点，8为下电极。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。