[发明专利]一种高结温LED芯片及其制作方法在审
申请号: | 201911003226.6 | 申请日: | 2019-10-22 |
公开(公告)号: | CN110767788A | 公开(公告)日: | 2020-02-07 |
发明(设计)人: | 仇美懿;庄家铭;余金隆 | 申请(专利权)人: | 佛山市国星半导体技术有限公司 |
主分类号: | H01L33/38 | 分类号: | H01L33/38;H01L33/40 |
代理公司: | 44202 广州三环专利商标代理有限公司 | 代理人: | 胡枫;李素兰 |
地址: | 528200 广东省佛山市南海区狮*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体层 金属活性 金属制成 反射层 阻绝层 第二电极 第一电极 接触层 衬底 打线 结温 源层 芯片 金属 电极金属 金属迁移 控制电极 重新设计 对电极 反射率 迁移 阻挡 制作 | ||
本发明公开了一种高结温LED芯片及其制作方法,所述芯片包括衬底、设于衬底上的第一半导体层、设于第一半导体层上的有源层和第一电极、设于有源层上的第二半导体层、以及设于第二半导体层上的第二电极,第一电极和第二电极均依次包括反射层、阻绝层和打线接触层,所述反射层由第一金属制成,所述阻绝层由第二金属制成,所述打线接触层由第三金属制成,其中,所述第一金属的金属活性小于Cr的金属活性,且第一金属的反射率大于80%,所述阻绝层用于阻挡反射层的金属迁移。本发明通过对电极的结构进行重新设计,控制电极金属活性,减少电极金属在高温时的迁移,有效将芯片的结温Tj(忍受度)从140度,提升到200~250度。
技术领域
本发明涉及发光二极管技术领域,尤其涉及一种高结温LED芯片及其制作方法。
背景技术
LED的基本结构是一个半导体的P-N结。实验指出,当电流流过LED元件时,P-N结的温度将上升,严格意义上说,就把P-N结区的温度定义为LED结温。通常由于元件芯片均具有很小的尺寸,因此我们也可把LED芯片的温度视之为结温。
LED芯片的最高结温可以用来计算在给定功耗下LED封装器件外壳至环境的热阻,这可以用来选定合适的散热装置。如果LED封装器件工作温度超过LED芯片的最高结温,LED封装器中的晶体管就容易被破坏,LED封装器也随之失效。
LED芯片结温的估计值(Tj)的计算方法如下:
Tj=Ta+(RθJA×PD),
Ta=封装的环境温度(℃),
RθJA=P-N结至环境的热阻(℃/W),
PD=封装的功耗(W)。
若提高LED芯片结温的最大额定值,即使环境温度非常高,芯片也能正常工作。
近年来,LED应用范围普及化,已经大部分取代目前的生活照明。在特殊大功率的应用中,LED所产生的高温与Droop效应,影响了LED的应用。现有的LED芯片结温(Tj)在140℃以下,已经不足以满足封装的需求。市场上对LED芯片的结温要求在200℃以上。
发明内容
本发明所要解决的技术问题在于,提供一种高结温LED芯片及其制作方法,有效提高芯片的结温。
为了解决上述技术问题,本发明提供了一种高结温LED芯片,包括衬底、设于衬底上的第一半导体层、设于第一半导体层上的有源层和第一电极、设于有源层上的第二半导体层、以及设于第二半导体层上的第二电极,第一半导体层和第一电极之间设有第一接触层,第二半导体层和第二电极之间设有第二接触层,第一电极和第二电极均依次包括反射层、阻绝层和打线接触层,所述反射层由第一金属制成,所述阻绝层由第二金属制成,所述打线接触层由第三金属制成,其中,所述第一金属的金属活性小于Cr的金属活性,且第一金属的反射率大于80%,所述阻绝层用于阻挡反射层的金属迁移。
作为上述方案的改进,所述第二金属的金属活性<第一金属的金属活性。
作为上述方案的改进,所述第三金属的金属活性<第二金属的金属活性<第一金属的金属活性。
作为上述方案的改进,所述第一金属为Rh,所述第二金属为Pt或Pd,所述第三金属为Au。
作为上述方案的改进,所述第一金属为Rh,所述第二金属为W或TiW,所述第三金属为Au。
作为上述方案的改进,所述第一接触层和第二接触层均为透明导电层,所述透明导电层由氧化铟锡或铟锌氧化物制成,所述透明导电层的厚度为300~3000埃。
作为上述方案的改进,所述反射层的厚度为1000~5000埃,所述阻绝层的厚度为300~3000埃。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于佛山市国星半导体技术有限公司,未经佛山市国星半导体技术有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201911003226.6/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:具有光功率读取的发光器件
- 下一篇:发光二极管及其制备方法