[发明专利]一种数字隔离芯封装件的生产方法有效

专利信息
申请号: 201911006095.7 申请日: 2019-10-22
公开(公告)号: CN110783209B 公开(公告)日: 2021-11-09
发明(设计)人: 张易勒;李习周;蔺兴江;赵萍;李琦 申请(专利权)人: 天水华天科技股份有限公司
主分类号: H01L21/56 分类号: H01L21/56;H01L21/60;H01L23/62
代理公司: 西安通大专利代理有限责任公司 61200 代理人: 李鹏威
地址: 741000 甘*** 国省代码: 甘肃;62
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摘要:
搜索关键词: 一种 数字 隔离 封装 生产 方法
【权利要求书】:

1.一种数字隔离芯封装件的生产方法,其特征在于包括如下步骤:

A、进行晶圆减薄和划片,形成引线框架;

B、将芯片粘贴到引线框架的载体(3)上;

C、烘烤:采用七个不同氧含量区快速固化防框架氧化烘烤工艺,该工艺的详细流程是:该七个氧含量区域上下排布,框架经上芯后传递到第一氧含量区,经过第一氧含量区的初步固化,传递到第二氧含量区依次类推,直至出箱,各固化区域的氧含量区采用渐变式差,从第一氧含量区域到第七氧含量区域的氧含量分别为20000ppm、18000ppm、15000ppm、12000ppm、6000ppm、3000ppm、1500ppm;

D、烘烤后等离子清洗,

E、压焊,压焊后进行塑封前等离子清洗,

F、塑封,

再采用现有SOP封装生产工艺进行打印、测试,接着进行切筋,一次成型,制得宽体小外形封装件;

所述压焊步骤采用SOP封装生产工艺进行压焊,芯片间互连采用直角弧形多层焊线,先在高压芯片(5)上的焊点植球,再从低压芯片(6)上的焊点焊丝,然后直角拉起线弧,接着沿高压芯片(5)上的焊点方向水平拉弧,最后垂直向下与高压芯片(5)上焊点的焊球键合;其它连线按现有SOP封装生产工艺进行压焊。

2.根据权利要求1所述的一种数字隔离芯封装件的生产方法,其特征在于:所述压焊步骤温度为180℃-185℃。

3.根据权利要求2所述的一种数字隔离芯封装件的生产方法,其特征在于:所述塑封步骤采用:注塑压力800~1200Psi、注塑时间10~14s、模具温度170~180℃、合模压力125~135ton、固化时间110~120s。

4.根据权利要求3所述的一种数字隔离芯封装件的生产方法,其特征在于:塑封后在175℃的温度下后固化8.5小时。

5.根据权利要求4所述的一种数字隔离芯封装件的生产方法,其特征在于:所述引线框架本体(1)矩阵式排列有112个封装单元(2),所有的封装单元2呈7行16列矩阵式排列于的引线框架本体1上。

6.根据权利要求5所述的一种数字隔离芯封装件的生产方法,其特征在于:所述塑封材料采用符合欧盟WEEE、ROHS和索尼标准、击穿电压大于20V/μm、相对漏电起痕指数大于600V的环保材料。

7.根据权利要求1所述的一种数字隔离芯封装件的生产方法,其特征在于:所述的封装件,包括引线框架本体(1)上矩阵式排列的封装单元(2),其包括相对排列的复数个载体(3),相对的两个相邻载体(3)上分别设有高压芯片(5)和低压芯片(6);相对的两个相邻载体(3)之间的高度差大于0,相对的两个相邻载体(3)之间的间隔大于0,沿载体(3)的外侧周边设有复数个放射状的引脚(4)分列封装单元(2)两长边上,载体(3)周边设有n个工艺孔(7),每个引脚(4)的正反两面设有非对称复数条V形横槽(9);载体(3)的非相对周边的至少一端与至少一引脚(4)相连接。

8.根据权利要求7所述的一种数字隔离芯封装件的生产方法,其特征在于:封装单元(2)的两侧位于两个载体(3)间隔中心轴线上对称设有一对凸耳(8)。

9.根据权利要求8所述的一种数字隔离芯封装件的生产方法,其特征在于:相对的两个相邻载体(3)的间隔距离等于0.3-0.8mm;所述引线框架本体(1)的长度为269mm-300mm,宽度为83mm-100mm。

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