[发明专利]一种数字隔离芯封装件的生产方法有效
申请号: | 201911006095.7 | 申请日: | 2019-10-22 |
公开(公告)号: | CN110783209B | 公开(公告)日: | 2021-11-09 |
发明(设计)人: | 张易勒;李习周;蔺兴江;赵萍;李琦 | 申请(专利权)人: | 天水华天科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;H01L21/60;H01L23/62 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 李鹏威 |
地址: | 741000 甘*** | 国省代码: | 甘肃;62 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 数字 隔离 封装 生产 方法 | ||
1.一种数字隔离芯封装件的生产方法,其特征在于包括如下步骤:
A、进行晶圆减薄和划片,形成引线框架;
B、将芯片粘贴到引线框架的载体(3)上;
C、烘烤:采用七个不同氧含量区快速固化防框架氧化烘烤工艺,该工艺的详细流程是:该七个氧含量区域上下排布,框架经上芯后传递到第一氧含量区,经过第一氧含量区的初步固化,传递到第二氧含量区依次类推,直至出箱,各固化区域的氧含量区采用渐变式差,从第一氧含量区域到第七氧含量区域的氧含量分别为20000ppm、18000ppm、15000ppm、12000ppm、6000ppm、3000ppm、1500ppm;
D、烘烤后等离子清洗,
E、压焊,压焊后进行塑封前等离子清洗,
F、塑封,
再采用现有SOP封装生产工艺进行打印、测试,接着进行切筋,一次成型,制得宽体小外形封装件;
所述压焊步骤采用SOP封装生产工艺进行压焊,芯片间互连采用直角弧形多层焊线,先在高压芯片(5)上的焊点植球,再从低压芯片(6)上的焊点焊丝,然后直角拉起线弧,接着沿高压芯片(5)上的焊点方向水平拉弧,最后垂直向下与高压芯片(5)上焊点的焊球键合;其它连线按现有SOP封装生产工艺进行压焊。
2.根据权利要求1所述的一种数字隔离芯封装件的生产方法,其特征在于:所述压焊步骤温度为180℃-185℃。
3.根据权利要求2所述的一种数字隔离芯封装件的生产方法,其特征在于:所述塑封步骤采用:注塑压力800~1200Psi、注塑时间10~14s、模具温度170~180℃、合模压力125~135ton、固化时间110~120s。
4.根据权利要求3所述的一种数字隔离芯封装件的生产方法,其特征在于:塑封后在175℃的温度下后固化8.5小时。
5.根据权利要求4所述的一种数字隔离芯封装件的生产方法,其特征在于:所述引线框架本体(1)矩阵式排列有112个封装单元(2),所有的封装单元2呈7行16列矩阵式排列于的引线框架本体1上。
6.根据权利要求5所述的一种数字隔离芯封装件的生产方法,其特征在于:所述塑封材料采用符合欧盟WEEE、ROHS和索尼标准、击穿电压大于20V/μm、相对漏电起痕指数大于600V的环保材料。
7.根据权利要求1所述的一种数字隔离芯封装件的生产方法,其特征在于:所述的封装件,包括引线框架本体(1)上矩阵式排列的封装单元(2),其包括相对排列的复数个载体(3),相对的两个相邻载体(3)上分别设有高压芯片(5)和低压芯片(6);相对的两个相邻载体(3)之间的高度差大于0,相对的两个相邻载体(3)之间的间隔大于0,沿载体(3)的外侧周边设有复数个放射状的引脚(4)分列封装单元(2)两长边上,载体(3)周边设有n个工艺孔(7),每个引脚(4)的正反两面设有非对称复数条V形横槽(9);载体(3)的非相对周边的至少一端与至少一引脚(4)相连接。
8.根据权利要求7所述的一种数字隔离芯封装件的生产方法,其特征在于:封装单元(2)的两侧位于两个载体(3)间隔中心轴线上对称设有一对凸耳(8)。
9.根据权利要求8所述的一种数字隔离芯封装件的生产方法,其特征在于:相对的两个相邻载体(3)的间隔距离等于0.3-0.8mm;所述引线框架本体(1)的长度为269mm-300mm,宽度为83mm-100mm。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造