[发明专利]一种全绒面N型双面电池的制作方法

说明书

本发明公开了一种全绒面N型双面电池的制作方法，该方法包括以下步骤：制绒、磷扩散、去PSG、磷扩散面镀SiNx膜、清洗1、硼扩散、清洗2、正面镀Al2O3、正面镀SiNx薄膜、印刷和烧结。本发明采用双面绒面的结构，有利于提高电池背面的光吸收率，进而提高电池的双面率；采用双面绒面电池结构，对改善电池的背面光吸收能力，凸显其双面率和组件端功率增益的优势，且硼扩散至磷扩散的工艺过程，操作简单，步骤少，可以最大程度使用常规设备来生产，同时减少了对硅基片的损伤和污染，有利于电池效率的提升，因此可以明显降低生产成本，有利于N型电池的大规模工业生产。

技术领域

本发明涉及一种太阳能电池的生产制作方法，尤其涉及一种全绒面N型双面电池的制作方法。

背景技术

与传统P型太阳能电池相比，N型电池的一个亮点在于其可以制作成双面电池，在效率提升和组件端功率增益有明显的优势。但目前N型电池背面大多为酸抛光，这减弱了背面光吸收能力，使电池的双面率较低。本发明的一种全绒面N型双面电池的制作方法，采用双面绒面的结构，有利于提高电池背面的光吸收率，进而提高电池的双面率。

发明内容

本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种全绒面N型双面电池的制作方法，其采用双面绒面的结构，有利于提高电池背面的光吸收率，进而提高电池的双面率；采用双面绒面电池结构，对改善电池的背面光吸收能力，凸显其双面率和组件端功率增益的优势，且硼扩散至磷扩散的工艺过程，操作简单，步骤少，可以最大程度使用常规设备来生产，同时减少了对硅基片的损伤和污染，有利于电池效率的提升，因此可以明显降低生产成本，有利于N型电池的大规模工业生产。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

一种全绒面N型双面电池的制作方法，所述全绒面N型双面电池的制作方法包括以下步骤：

S1、制绒：取一N型单晶硅基片，用NaOH溶液对所取的N型单晶硅基片表面进行清洗，对N型单晶硅基片的表面进行异性腐蚀以获得金字塔绒面，硅片减重为0.45-0.65g；

S2、磷扩散：采用高表面浓度浅结磷扩散工艺对硅基片的一面进行磷扩散，形成N型层；

S3、去PSG：将步骤S2中得到的硼扩散N型单晶硅基片放入到3％-8％的HF溶液清洗；

S4、磷扩散面镀SiNx膜：采用等离子增强化学气相沉积法对所述步骤S3得到的N型单晶硅基片镀SiNx膜；

S5、清洗1：采用3％的HF溶液清洗用以去除磷扩散面镀膜时产生的绕镀；

S6、硼扩散：反应温度为950℃，BBr₃源量为300sccm，方阻为80Ω/Sqr，在炉管中以氮气携带BBr₃蒸汽的方式对硅基片的一面进行硼扩散；

S7、清洗2：采用HF清洗工艺去除硼扩散形成的BSG，并采用浓度为5％的HNO₃对N型单晶硅基片进行氧化钝化；

S8、正面镀Al2O3：对经过氧化钝化后的N型单晶硅基片正面镀Al₂O₃，厚度为1-3nm；

S9、正面镀SiNx薄膜：在正面镀有Al₂O₃的N型单晶硅基片表面镀SiNx薄膜厚度为70-80nm；

S10、印刷和烧结：采用丝网印刷的方法在N型单晶硅基片的上表面和下表面印刷浆料，形成电池的正极和负极，然后在700-820℃的温度下，在烧结炉中进行烧结，即完成了N型双面电池的制作。

优选地，所述步骤S2中,工艺温度为750-850℃，方阻为60-80Ω/Sq。