[发明专利]用于制造有机发光元件面板的基板移动装置及方法

权利要求书

1.一种用于制造有机发光元件面板的基板移动装置，是使基板(500)移动的用于制造有机发光元件面板的基板移动装置(100)，在该基板(500)的除了边缘(555)之外的下表面的被选择的区域沉积形成有至少一个单元(550)，该至少一个单元(550)形成有机发光元件面板，并且由有机物质图案构成，

该用于制造有机发光元件面板的基板移动装置的特征在于，包括：

机器人(110)，包括配置于所述基板(500)的下侧并且与所述基板(500)的下表面的所述边缘(555)接触来支撑所述基板(500)的机械手(111)、使所述机械手(111)升降的升降手段(112)、以及用于移动的移动手段(113)；

真空吸附手段(120)，配置于所述基板(500)的上侧，吸附固定所述基板(500)；

减振手段(130)，配置于所述真空吸附手段(120)的沿所述基板(500)的移动方向的一侧的末端，向所述真空吸附手段(120)所形成的平面的下侧突出，与所述机械手(111)的末端接触来减少振动；以及

控制手段(140)，检测所述减振手段(130)与所述机械手(111)的接触以及减振状态，同步驱动所述减振手段(130)及所述升降手段(112)。

2.根据权利要求1所述的用于制造有机发光元件面板的基板移动装置，其特征在于，

所述机械手(111)包括多个支撑部(111z)，该多个支撑部(111z)以与所述基板(500)的下表面的所述边缘(555)接触的方式向上侧突出分布。

3.根据权利要求2所述的用于制造有机发光元件面板的基板移动装置，其特征在于，

所述机械手(111)包括：

至少一个主支撑台(111a)，沿所述基板(500)的移动方向延伸；以及

多个副支撑台(111b)，与所述主支撑台(111a)连接，相对于所述主支撑台(111a)的延伸方向垂直，与所述基板(500)所形成的平面平行地延伸，

所述机械手(111)形成鱼刺形状，

所述支撑部(111z)形成于在所述主支撑台(111a)的延伸方向上与所述基板(500)的两侧的末端的所述边缘(555)相对应的位置、以及在所述副支撑台(111b)的延伸方向上与所述基板(500)的两侧的末端的所述边缘(555)相对应的位置。

4.根据权利要求3所述的用于制造有机发光元件面板的基板移动装置，其特征在于，

所述机械手(111)还包括多个辅助支撑台(111c)，该多个辅助支撑台(111c)与在所述主支撑台(111a)的延伸方向上配置于最外侧的至少一对所述副支撑台(111b)连接，与所述主支撑台(111a)的延伸方向平行，与所述基板(500)所形成的平面平行地延伸，

所述支撑部(111z)还形成于在所述辅助支撑台(111c)的延伸方向上与所述基板(500)的两侧的末端的所述边缘(555)对应的位置。

5.根据权利要求3所述的用于制造有机发光元件面板的基板移动装置，其特征在于，

所述主支撑台(111a)以在所述主支撑台(111a)的延伸方向上从所述基板(500)的末端突出的方式形成。

6.根据权利要求1所述的用于制造有机发光元件面板的基板移动装置，其特征在于，

所述真空吸附手段(120)包括：

中心吸附部(121)，配置于所述基板(500)的中心区域；以及

多个周围吸附部(122)，以包围所述中心吸附部(121)并且以所述基板(500)的中心点为基准相互对称的方式分布配置。

7.根据权利要求6所述的用于制造有机发光元件面板的基板移动装置，其特征在于，

所述真空吸附手段(120)独立地控制所述中心吸附部(121)以及多个所述周围吸附部(122)各自的吸附压力。