[发明专利]用于制造有机发光元件面板的基板移动装置及方法

说明书

本发明涉及用于制造有机发光元件面板的基板移动装置及方法。本发明的目的在于，提供一种能够避免有机发光元件面板的制造过程中的基板的空气暴露的同时将基板正确且精密地移动至固定位置的用于制造有机发光元件面板的基板移动装置及方法。本发明的另一目的在于，通过改良这样的基板移动装置的结构，提供一种不仅能够大幅减少装置整体的体积，还能够减少移动基板并排列到固定位置所需的时间的用于制造有机发光元件面板的基板移动装置及方法。

技术领域

本发明涉及用于制造有机发光元件面板的基板移动装置(Device and methodfor transferring plate for manufacturing OLED panel)，特别地涉及能够避免有机发光元件面板的制造过程中的基板的空气暴露的同时将基板正确且精密地移动至固定位置的用于制造有机发光元件面板的基板移动装置及方法。

背景技术

有机发光元件(Organic Light Emitting Diodes，OLED)是指，利用电流流过荧光有机化合物时发光的电致发光现象来自行发光的自发光有机物质。有机发光元件具有能够在低的电压下驱动，能够做得薄，并且具有宽的视角及快的响应速度等的优点。由于这样的多个优点，有机发光元件作为各种电子产品的显示器面板现在被广泛使用，并且其使用范围逐渐扩大。

通常在制造有机发光元件面板时，在由玻璃(glass)形成的大型母基板上利用有机物质沉积图案。在母基板沉积单元并经过干燥等多个工序之后，通过将粘贴基板重叠于母基板粘贴来将形成有单元的空间称为相对于外部封闭的状态的工序就是如上所述的密封工序。在这样的密封工序之后将基板切割为相当于各单元的尺寸来完成有机发光元件面板产品的制造。

另外，构成有机发光元件的有机物对水分及氧非常敏感，因此若暴露于空气中则立即会变质。因此，为了避免空气暴露，通常进行密封工序之前的工序在惰性气体(例如氮气)的气体环境的腔室内进行。另一方面，因受到设备空间的限制而可分开配置进行沉积工序的装备和此后进行干燥等其他工序的装备。此时，在从包围沉积装备的腔室向包围其他装备的腔室移动基板的过程中，显然也需要避免空气暴露。由此，在沉积装备完成沉积的基板通过能够以避免空气暴露的环境制成的机器人来向进行其他工序的装备移动。作为例子，在韩国专利申请第1847978号(“有机发光元件制造装备”，2018.04.05，以下成为‘现有文献’)中公开了一种腔室结构，该腔室结构具备位于多个工序腔室之间来以多个工序腔室移送基板的基板移送系统。在现有文献中公开了基板移送系统构成为输送机形式的实施例，此外还使用利用机器人移送基板的设备。

如上所述，在对完成有机物质的沉积的基板进行密封工序之前，不使有机物质受损非常重要。因此通常使沉积有有机物质的表面朝下(facedown，下面称为‘面朝下的状态’)来移动基板，并将未沉积有机物质的表面亦即上表面利用真空吸附手段进行吸附固定之后，执行检查等多个其他工序。即，在完成有机物质的沉积的基板在进入其他工序之前，应以面朝下的状态吸附固定于配置在基板上侧的真空吸附手段。图1是用于这样将基板吸附固定于真空吸附手段的以往的基板移动装置的实施例。

如图1的(A)部分所示，面朝下的状态的基板5通过机械手1被移动至真空吸附手段10的下侧。此时，在所述真空吸附手段10以及所述基板5的下侧配置有基板升降手段20。并且，为了不使所述机械手1对在所述基板5的下表面沉积的有机物质带来损伤，所述机械手1只能握持所述基板5的边缘。

如图1的(B)部分所示，所述机械手1将所述基板5放在所述基板升降手段20的上表面，此时，为了使在所述基板5的下表面沉积的有机物质不受损伤，优选地，所述基板升降手段20也以最小限度与所述基板5的边缘部分接触。为了满足这样的条件，通常所述基板升降手段20可构成为在上侧形成有多个销的方式的称为升降销模块(lift-pinmodule)的装置。

如图1的(C)部分所示，当在所述基板升降手段20的上侧放上所述基板5时，所述机械手1退出，此时由所述基板升降手段20使所述基板5上升至所述真空吸附手段10的下表面的近处。