[发明专利]一种二氧化硅胶体及其制备方法在审
| 申请号： | 201911012164.5 | 申请日： | 2019-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN110655087A | 公开（公告）日： | 2020-01-07 |
| 发明（设计）人： | 孔慧;刘卫丽;宋志棠;李宏亮 | 申请（专利权）人： | 浙江新创纳电子科技有限公司;中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | C01B33/141 | 分类号： | C01B33/141 |
| 代理公司： | 31219 上海光华专利事务所(普通合伙) | 代理人： | 许亦琳;余明伟 |
| 地址： | 314406 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 二氧化硅胶体 非球形 制备 二氧化硅颗粒 碱性混合物 二氧化硅 活性硅酸 晶种 保温 加速度要求 金属阳离子 无机碱溶液 滴加 加热 应用 保证 | ||
1.一种二氧化硅胶体的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
将无机碱溶液加入pH为2～4的活性硅酸中制得pH为8.5～9.5的碱性混合物；
将碱性混合物升温至90℃～100℃保温至少10min获得非球形二氧化硅晶种溶液；
将非球形二氧化硅晶种加热至沸，在保证体系pH为9.0～10.0的情况下，滴加活性硅酸保温至少10min；
自然冷却至室温获得非球形二氧化硅胶体。
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述活性硅酸为采用水玻璃溶液加入到强酸型阳离子交换树脂内进行阳离子交换获得。
3.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，水玻璃溶液中二氧化硅含量为3wt％～6wt％。
4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，无机碱为选自氢氧化钾和氢氧化钠中的一种或两种。
5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，无机碱溶液的浓度为0.5wt％～2.0wt％。
6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，非球形二氧化硅晶种与滴加的活性硅酸的体积比为0.1～0.15。
7.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，滴加活性硅酸的速度为7-10ml/min。
8.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，将无机碱溶液以1.0-5.0ml/min的速度加入活性硅酸中获得碱性混合物。
9.一种由权利要求1～8任一项所述的制备方法制备获得的非球形二氧化硅胶体。
10.如权利要求9所述的非球形二氧化硅胶体在集成电路中用作抛光液的用途。
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