[发明专利]固定系统、支撑板及用于其生产的方法

权利要求书

1.一种用于固定柔性基板(16)的固定系统(10)，所述固定系统包括处理装置(12)和与所述处理装置(12)分离的支撑板(14)，其中，所述处理装置(12)包括具有真空开口(20)的支承表面(18)，其中，所述支撑板(14)包括用于支撑所述基板(16)的支撑表面(26)以及与所述处理装置(12)的支承表面(18)接触的连接表面(24)，其中，所述支撑板(14)包括从所述支撑表面(26)延伸至所述连接表面(24)的通孔(28)，并且其中，所述通孔(28)中的至少一个与所述处理装置(12)的真空开口(20)中的一个流体连接。

2.根据权利要求1所述的固定系统(10)，其特征在于，所述支撑板(14)在所述支撑表面(26)中包括真空槽(30)，每个真空槽都流体地连接至至少一个通孔(28)。

3.根据权利要求2所述的固定系统(10)，其特征在于，所述真空槽(30)在所述支撑板(14)的方位角方向上从所述支撑板(14)的中心点(32)径向向外延伸和/或沿着与所述基板(16)的轮廓类似的轮廓延伸。

4.根据前述权利要求中任一项所述的固定系统(10)，其特征在于，所述支撑板(14)包括对准结构，具体地，所述对准结构包括雕刻部(44)、凹口(36)和/或对准标记(40)。

5.根据前述权利要求中任一项所述的固定系统(10)，其特征在于，所述处理装置(12)和/或所述支撑板(14)至少部分是半透明的。

6.根据前述权利要求中任一项所述的固定系统(10)，其特征在于，所述支撑板(14)至少部分地由可光结构化玻璃构成。

7.根据前述权利要求中任一项所述的固定系统(10)，其特征在于，所述支撑板(14)在所述连接表面(24)中包括真空槽(31)，每个真空槽都流体连接至至少一个通孔(28)，特别地，设置在所述连接表面(24)中的真空槽(31)的宽度和/或长度大于设置在所述支撑表面(26)中的真空槽(30)的宽度和/或长度。

8.根据前述权利要求中任一项所述的固定系统(10)，其特征在于，所述通孔(28)中的至少两个在所述连接表面(24)上和/或在所述支撑表面(26)上流体分离。

9.根据前述权利要求中任一项所述的固定系统(10)，其特征在于，所述支撑板(14)包括至少十个通孔，特别是至少20个通孔(28)。

10.根据前述权利要求中任一项所述的固定系统(10)，其特征在于，所述支撑板(14)在所述支撑表面(26)上包括接收部段(42)。

11.根据权利要求10所述的固定系统，其特征在于，所述通孔(28)设置在所述接收部段(42)中。

12.根据前述权利要求中任一项所述的固定系统(10)，其特征在于，所述处理装置(12)是吸盘和/或端部执行器。

13.一种用于固定柔性基板(16)的固定系统(10)的支撑板(14)，特别是用于根据前述权利要求中任一项所述的固定系统(10)的支撑板，所述支撑板包括用于支撑基板(16)的支撑表面(26)和用于连接所述支撑板(14)与处理装置(12)的连接表面(24)，其中，所述支撑板(14)包括从所述支撑表面(26)延伸到所述连接表面(24)的通孔(28)，其中，所述通孔(28)中的至少两个在所述连接表面(24)上流体分离。

14.根据权利要求13所述的支撑板(14)，其特征在于，所述支撑板(14)包括至少十个通孔(28)，特别是至少20个通孔(28)。

15.一种用于生产用于固定柔性基板(16)的固定系统(10)的支撑板(14)的方法，特别是用于生产用于根据前述权利要求中任一项所述的固定系统(10)的支撑板(14)的方法，所述方法包括以下步骤：

-提供由可光结构化玻璃制成的基体；

-在所述基体上布置光掩模；

-暴露所述基体；以及

-蚀刻所述基体，以形成真空槽(30，31)和/或通孔(28)。