[发明专利]贴紧度确认装置及方法、成膜装置及方法、电子器件的制造方法

权利要求书

1.一种贴紧度确认装置，是用于确认第1处理体与第2处理体之间的贴紧度的装置，其特征在于，

该贴紧度确认装置包括：

光学部件，用于隔着所述第1处理体，对形成于所述第2处理体的贴紧度确认用表示符进行拍摄；以及

判别部件，基于由所述光学部件拍摄到的图像内的所述贴紧度确认用表示符的拍摄状态，判别所述第1处理体与所述第2处理体之间的贴紧度。

2.根据权利要求1所述的贴紧度确认装置，其特征在于，

所述光学部件在焦点对合在所述第1处理体与所述第2处理体贴紧时成为交界面的所述第1处理体的一面的位置的状态下，对所述贴紧度确认用表示符进行拍摄。

3.根据权利要求1所述的贴紧度确认装置，其特征在于，

所述判别部件基于由所述光学部件拍摄到的所述图像内的所述贴紧度确认用表示符的拍摄状态，获取所述第2处理体的、距所述第1处理体的分隔距离。

4.根据权利要求1所述的贴紧度确认装置，其特征在于，

所述判别部件基于由所述光学部件拍摄到的所述图像内的所述贴紧度确认用表示符的拍摄状态的变化，判别所述第1处理体与所述第2处理体之间的贴紧度变化。

5.根据权利要求2所述的贴紧度确认装置，其特征在于，

所述贴紧度确认用表示符是具有第1大小的标记图案，

所述判别部件在由所述光学部件拍摄到的图像内看得到所述标记图案时，判别为所述第1处理体与所述第2处理体贴紧。

6.根据权利要求2所述的贴紧度确认装置，其特征在于，

所述贴紧度确认用表示符是排列有具有不同大小的多个标记图案的标记组，

所述判别部件以所述多个标记图案中的、具有规定的大小的标记图案为基准，在该标记图案在由所述光学部件拍摄到的图像内看不到时，判别为所述贴紧度降低。

7.根据权利要求6所述的贴紧度确认装置，其特征在于，

所述贴紧度确认用表示符作为所述标记组，包括：第1标记组，在第1方向上排列有具有不同大小的多个标记图案；以及第2标记组，在与所述第1方向垂直的第2方向上排列有具有与所述第1标记组的多个标记图案分别对应的大小的多个标记图案。

8.根据权利要求2所述的贴紧度确认装置，其特征在于，

所述贴紧度确认用表示符形成于所述第2处理体的中央部。

9.根据权利要求2所述的贴紧度确认装置，其特征在于，

所述贴紧度确认用表示符形成于所述第2处理体的边侧中央部。

10.根据权利要求2所述的贴紧度确认装置，其特征在于，

所述贴紧度确认用表示符形成于所述第2处理体的角部。

11.根据权利要求2所述的贴紧度确认装置，其特征在于，

所述第2处理体包括用于将所述第2处理体的开口区域划分为多个的条部分，

所述贴紧度确认用表示符形成于所述第2处理体的条部分。

12.根据权利要求11所述的贴紧度确认装置，其特征在于，

所述条部分具有横向条部分和纵向条部分，

所述贴紧度确认用表示符形成于所述第2处理体的、所述横向条部分与所述纵向条部分交叉的区域。

13.一种成膜装置，是用于隔着掩模使蒸镀材料在基板上成膜的成膜装置，其特征在于，

该成膜装置包括：

静电吸盘，用于吸附作为第1处理体的基板并隔着所述基板吸附作为第2处理体的掩模；以及

贴紧度确认装置，用于确认由所述静电吸盘吸附的所述基板与所述掩模之间的贴紧度，

所述贴紧度确认装置是权利要求1～12中任一项所述的贴紧度确认装置。