[发明专利]一种CVD金刚石高真空光学窗装置在审
| 申请号： | 201911014788.0 | 申请日： | 2019-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN112782821A | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 赵芬霞;蒋荣方;刘宏明;王骏 | 申请（专利权）人： | 湖州中芯半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B7/00 | 分类号： | G02B7/00;C30B29/04;C30B25/00 |
| 代理公司： | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人： | 刘晓明 |
| 地址： | 313000 浙江省湖州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 cvd 金刚石 真空 光学 装置 | ||
1.一种CVD金刚石高真空光学窗装置，其特征在于：包括底座、连接件、压紧件、压紧组件、透光组件、金刚石光窗和真空设备固定孔，所述连接件设于底座上，所述压紧件设于连接件远离底座的一端，所述压紧组件一端设于压紧件上，所述压紧组件另一端设于底座上，所述透光组件一端设于压紧件上，所述透光组件另一端设于底座上，所述金刚石光窗设于透光组件内，所述金刚石光窗底部设于底座顶部，所述金刚石光窗顶部设于压紧件底部，所述真空设备固定孔贯穿设于底座上，所述金刚石光窗为金刚石单晶材质的金刚石光窗，所述金刚石光窗含有铅元素和磷元素，所述金刚石光窗通过CVD化学气相沉积法制得的金刚石光窗，所述金刚石光窗的整体尺寸为直径8cm且厚度1cm。
2.根据权利要求1所述的一种CVD金刚石高真空光学窗装置，其特征在于：所述真空设备固定孔呈圆周均匀分布设于底座上。
3.根据权利要求1所述的一种CVD金刚石高真空光学窗装置，其特征在于：所述底座为316不锈钢材质的底座，所述底座为直径28cm且厚度2.0cm的圆柱形底座。
4.根据权利要求1所述的一种CVD金刚石高真空光学窗装置，其特征在于：所述连接件为316不锈钢材质的连接件，所述连接件为直径16cm且厚度为1.2cm的圆柱形连接件。
5.根据权利要求1所述的一种CVD金刚石高真空光学窗装置，其特征在于：所述压紧件为316不锈钢材质的压紧件，所述压紧件为直径16cm且厚度为1.0cm的圆柱形压紧件。
6.根据权利要求1所述的一种CVD金刚石高真空光学窗装置，其特征在于：所述透光组件包括底座窗口、光窗放置槽和压紧件窗口，所述底座窗口贯穿设于底座上，所述光窗放置槽贯穿设于连接件上，所述压紧件窗口贯穿设于压紧件上，所述底座窗口为直径5cm的通孔，所述光窗放置槽为直径9cm的通孔，所述压紧件窗口为直径5cm的通孔。
7.根据权利要求1所述的一种CVD金刚石高真空光学窗装置，其特征在于：所述压紧组件包括压紧螺孔和六角形压紧螺丝，所述压紧螺孔一端设于压紧件上，所述压紧螺孔另一端设于底座上，所述六角形压紧螺丝可旋转设于压紧螺孔内。
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