[发明专利]一种CVD金刚石高真空光学窗装置

说明书

本发明公开了一种CVD金刚石高真空光学窗装置，包括底座、连接件、压紧件、压紧组件、透光组件、金刚石光窗和真空设备固定孔，所述连接件设于底座上，所述压紧件设于连接件远离底座的一端，所述压紧组件一端设于压紧件上，所述压紧组件另一端设于底座上，所述透光组件一端设于压紧件上，所述透光组件另一端设于底座上，所述金刚石光窗设于透光组件内，所述真空设备固定孔贯穿设于底座上，所述金刚石光窗为含有铅元素和磷元素的金刚石光窗，所述金刚石光窗通过CVD化学气相沉积法制得。本发明属于真空设备技术领域，具体是指一种莫氏硬度高，结构强度高，防电磁辐射，可观察等离子体辉光的高真空光学窗装置。

技术领域

本发明属于真空设备技术领域，具体是指一种CVD金刚石高真空光学窗装置。

背景技术

在真空低温环境下，采用摄影测量方法对航天器形变进行测量时，需要将摄影测量相机在容器内于不同位置对试件进行拍摄，然后进行测量，目前国内在真空低温环境下，用于摄影测量的保护舱采用的都是传统光学窗口，在工作过程中，真空设备光学窗口莫氏硬度低，对不均匀外力的抵抗能力弱，在发生碰撞时，容易漏气，导致实验最终失败，目前测量设备不具备抗电磁辐射干扰的能力，试验数据误差大，同时目前常见的真空设备光学窗口不具备观察等离子体辉光的功能，难以满足实验需求。

发明内容

为了解决上述难题，本发明提供了一种莫氏硬度高，结构强度高，防电磁辐射，可观察等离子体辉光的高真空光学窗装置。

为了实现上述功能，本发明采取的技术方案如下：一种CVD金刚石高真空光学窗装置，包括底座、连接件、压紧件、压紧组件、透光组件、金刚石光窗和真空设备固定孔，所述连接件设于底座上，所述压紧件设于连接件远离底座的一端，所述压紧组件一端设于压紧件上，所述压紧组件另一端设于底座上，所述透光组件一端设于压紧件上，所述透光组件另一端设于底座上，所述金刚石光窗设于透光组件内，所述金刚石光窗底部设于底座顶部，所述金刚石光窗顶部设于压紧件底部，所述真空设备固定孔贯穿设于底座上，压紧组件将压紧件、连接件和底座紧固在一起，真空设备固定孔用于该装置与真空设备的固定，所述金刚石光窗为金刚石单晶材质的金刚石光窗，同时含有铅元素和磷元素，通过CVD化学气相沉积法制得，整体尺寸为直径8cm，厚度1cm，加入铅元素可以有效防止电磁辐射，加入磷元素可以观察等离子体辉光。

进一步地，所述真空设备固定孔呈圆周均匀分布设于底座上。

进一步地，所述底座为316不锈钢材质的底座，整体尺寸为直径28cm，厚度2.0cm的圆柱。

进一步地，所述连接件为316不锈钢材质的连接件，整体尺寸为直径16cm，厚度1.2cm的圆柱。

进一步地，所述压紧件为316不锈钢材质的压紧件，整体尺寸为直径16cm，厚度1.0cm的圆柱。

进一步地，所述透光组件包括底座窗口、光窗放置槽和压紧件窗口，所述底座窗口贯穿设于底座上，所述光窗放置槽贯穿设于连接件上，所述压紧件窗口贯穿设于压紧件上，所述底座窗口为直径5cm的通孔，所述光窗放置槽为直径9cm的通孔，所述压紧件窗口为直径5cm的通孔。

进一步地，所述压紧组件包括压紧螺孔和六角形压紧螺丝，所述压紧螺孔一端设于压紧件上，所述压紧螺孔另一端设于底座上，所述六角形压紧螺丝可旋转设于压紧螺孔内，作为优选的，采用螺纹连接。

本发明采取上述结构取得有益效果如下：本发明提供的一种CVD金刚石高真空光学窗装置，该装置中的金刚石光窗通过CVD化学气相沉积法制得，含有铅元素和磷元素，一方面增加了光窗的结构强度，另一方面可以有效防止电磁辐射，同时可观察等离子体辉光，该光窗可以抵抗不均匀外力，用于真空设备上时，可获得更高的真空度。

附图说明

图1为本发明一种CVD金刚石高真空光学窗装置的整体结构图；

图2为本发明一种CVD金刚石高真空光学窗装置的剖视图。