[发明专利]一种多温区滑轨管式炉的控制方法

权利要求书

1.一种多温区滑轨管式炉的控制方法，其特征在于，包括

针对每个温区，设定所述温区的目标温度值；

对所述温区进行升温，经过预设时间后对所述温区内的至少三个测温点测温，获得实际温度值集合；

将所述实际温度值集合带入三次B样条曲线方程中，获得所述温区内的温度拟合曲线；

根据所述温区内的温度拟合曲线，获得所述温区内温度最接近所述目标温度值的目标位置；

根据反应步骤，将石英舟移动至第一个反应温度对应的温区的所述目标位置，通入第一种气源，进行化学反应；

当前反应步骤完成后，将石英舟移动至下一个反应温度对应的温区的所述目标位置，通入下一种气源，进行下一步的化学反应，直至完成全部反应步骤。

2.根据权利要求1所述的多温区滑轨管式炉的控制方法，其特征在于，将石英舟移动至对应温区的所述目标位置的过程，包括

将石英舟以第一预设速度从当前位置移动至对应温区的中心位置；

再将石英舟以第二预设速度从对应温区的中心位置移动至目标位置；

其中，所述第二预设速度小于所述第一预设速度。

3.根据权利要求1所述的多温区滑轨管式炉的控制方法，其特征在于，完成全部反应步骤后，还包括每个温区均停止加热，冷却降温的步骤。