[发明专利]一种多温区滑轨管式炉的控制方法

说明书

本发明公开了一种多温区滑轨管式炉的控制方法，包括S10、针对每个温区，设定所述温区的目标温度值；S20、对所述温区内的至少三个测温点测温，获得实际温度值集合；S30、将所述实际温度值集合带入三次B样条曲线方程中，获得所述温区内的温度拟合曲线；S40、根据所述温区内的温度拟合曲线，获得所述温区内温度最接近所述目标温度值的目标位置；S50、将石英舟移动至第一个反应温度对应的温区的所述目标位置，通入第一种气源，进行化学反应；S60、当前反应步骤完成后，将石英舟移动至下一个反应温度对应的温区的所述目标位置，通入下一种气源，进行下一步的化学反应。本发明既能够为实验者提供最准确的温度参数，又提供了良好的实验重复性。

技术领域

本发明涉及多温区滑轨管式炉技术领域，具体的说是一种多温区滑轨管式炉的控制方法。

背景技术

目前，使用多温区滑轨管式炉进行实验或生产的技术领域，炉体通常采用将电阻丝埋在炉膛内对石英管加热，热电偶探测温度与温控表通讯进行控温， PID模块进行温度精度调节控制的方式。滑轨使用两种方式，一种是炉体固定，滑动石英管；一种是石英管固定，滑动炉体。两种方式均可调整炉体加热温区与管内被实验材料的位置，达到可快速降温或使用多温区进行实验温度条件切换的功能。

发明人发现，无论何种加热炉，其温区均存在一定的波动，例如300mm 长的加热区，恒温区范围仅为200mm，且恒温区的温度梯度也有一定的起伏。多温区的电炉其几个温区若采用不同的温度控制，互相之间的温度干扰更大。当实验所需的温度控制精度更高时，在移动炉体改变温区时，无法在高温环境下找到第二个温区的温度合适位置，进而影响着实验的稳定性及结果。若仅靠电炉的温度控制，根据实验结果升高或降低温度来改变实验结果，仍存在两个个弊端：一是更换电炉无法复制原有的实验结果；二是每次放置样品均要放到同一位置，不够灵活。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的在于提出一种多温区滑轨管式炉的控制方法，既能够为实验者提供最准确的温度参数，又提供了良好的实验重复性。

基于上述目的本发明提供的一种多温区滑轨管式炉的控制方法，包括

针对每个温区，设定所述温区的目标温度值；

对所述温区内的至少三个测温点测温，获得实际温度值集合；

将所述实际温度值集合带入三次B样条曲线方程中，获得所述温区内的温度拟合曲线；

根据所述温区内的温度拟合曲线，获得所述温区内温度最接近所述目标温度值的目标位置；

根据反应步骤，将石英舟移动至第一个反应温度对应的温区的所述目标位置，通入第一种气源，进行化学反应；

当前反应步骤完成后，将石英舟移动至下一个反应温度对应的温区的所述目标位置，通入下一种气源，进行下一步的化学反应，直至完成全部反应步骤。

作为一种可选的实施方式，将石英舟移动至对应温区的所述目标位置的过程，包括

将石英舟以第一预设速度从当前位置移动至对应温区的中心位置；

再将石英舟以第二预设速度从对应温区的中心位置移动至目标位置；

其中，所述第二预设速度小于所述第一预设速度。

作为一种可选的实施方式，完成全部反应步骤后，还包括每个温区均停止加热，冷却降温的步骤。