[发明专利]一种柔性薄膜基板及其制备方法、显示面板、显示装置在审

专利信息
申请号: 201911016429.9 申请日: 2019-10-24
公开(公告)号: CN110854130A 公开(公告)日: 2020-02-28
发明(设计)人: 柯霖波 申请(专利权)人: 武汉华星光电半导体显示技术有限公司
主分类号: H01L27/12 分类号: H01L27/12;H01L21/77
代理公司: 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 代理人: 黄灵飞
地址: 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 一种 柔性 薄膜 及其 制备 方法 显示 面板 显示装置
【权利要求书】:

1.一种柔性薄膜基板,其特征在于,所述柔性薄膜基板包括柔性衬底,所述柔性衬底包括层叠设置的第一衬底层和第二衬底层,所述第二衬底层设置在所述第一衬底层之上;

其中,所述第二衬底层的弯折区设置有至少一个凹槽。

2.如权利要求1所述的柔性薄膜基板,其特征在于,所述柔性衬底还包括第三衬底层,所述第三衬底层设置于所述第一衬底层远离所述第二衬底层的一侧、或者设置于所述第二衬底层远离所述第一衬底层的一侧。

3.如权利要求1所述的柔性薄膜基板,其特征在于,所述第一衬底层与所述第二衬底层之间设置有阻隔层。

4.如权利要求3所述的柔性薄膜基板,其特征在于,所述第一衬底层的弯折区设置有至少一个凹槽。

5.如权利要求4所述的柔性薄膜基板,其特征在于,所述第一衬底层的弯折区的凹槽的大小、形状对应于所述第二衬底层的弯折区的凹槽。

6.如权利要求1所述的柔性薄膜基板,其特征在于,所述凹槽的截面形状为长方形、梯形、或者半圆形。

7.一种柔性薄膜基板的制备方法,其特征在于,包括步骤:

S101、提供一支撑层,在所述支撑层上涂覆聚酰胺酸溶液,制得第一衬底层;

S102、在所述第一衬底层之上制备有机材料层,并将所述有机材料层图案化,在所述柔性薄膜基板的弯折区形成凸起;

S103、在所述第一衬底层之上涂覆聚酰胺酸溶液,所述聚酰胺酸溶液覆盖所述有机材料层;

S104、低温烘烤所述聚酰胺酸溶液,制得聚酰胺酸膜层;

S105、将所述柔性薄膜基板置于高纯氮气气氛中升温脱水,所述聚酰胺酸膜层发生高温热酰亚胺化反应,制得第二衬底层,且所述有机材料层分解并逸出气体,形成凹槽;

S106、将所述第一衬底层与所述支撑层剥离,制得所述柔性薄膜基板。

8.如权利要求7所述的柔性薄膜基板的制备方法,其特征在于,在S102中,所述凸起的截面形状为至少一个长方形、至少一个梯形、或者至少一个半圆形。

9.一种显示面板,其特征在于,包括如权利要求1至6任一项所述的柔性薄膜基板。

10.一种显示装置,其特征在于,包括如权利要求9所述的显示面板。

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