[发明专利]一种柔性薄膜基板及其制备方法、显示面板、显示装置在审

专利信息
申请号: 201911016429.9 申请日: 2019-10-24
公开(公告)号: CN110854130A 公开(公告)日: 2020-02-28
发明(设计)人: 柯霖波 申请(专利权)人: 武汉华星光电半导体显示技术有限公司
主分类号: H01L27/12 分类号: H01L27/12;H01L21/77
代理公司: 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 代理人: 黄灵飞
地址: 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 一种 柔性 薄膜 及其 制备 方法 显示 面板 显示装置
【说明书】:

发明提供一种柔性薄膜基板,所述柔性薄膜基板包括柔性衬底,所述柔性衬底包括层叠设置的第一衬底层和第二衬底层,所述第二衬底层设置在所述第一衬底层之上;其中,所述第二衬底层的弯折区设置有至少一个凹槽;本发明通过在柔性衬底的弯折区形成凹槽,降低弯折区域的基板的厚度,使弯折区域的应力中性线趋近于金属走线层,从而提高柔性薄膜基板的弯折性能,避免弯折区域出现内应力增加及膜层断裂等问题,且本发明的柔性薄膜基板结构包括至少层叠设置的两层衬底层,满足高柔性、耐热、高阻水阻氧等要求。

技术领域

本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种柔性薄膜基板及其制备方法、显示面板、显示装置。

背景技术

随着显示技术的快速发展,显示面板领域正朝着更轻、更薄、更柔、更透明的方向发展,传统的玻璃基板由于自身硬和脆等特性,难以满足未来柔性显示技术的要求,而高分子薄膜基板具有质轻、柔性、综合性能优异等特点,可以很好地满足未来柔性显示技术对柔性的要求。因此,柔性高分子基板材料是未来柔性显示技术的首选材料。

目前用作柔性基板最具发展前景的高分子材料是聚酰亚胺,聚酰亚胺具有优异的耐热性、耐辐射性能、耐化学性、电绝缘性、机械性能等,但柔性基板上制备TFT(Thin FilmTransistor,薄膜晶体管)后,中性线与金属走线区不统一,使得弯折区域容易出现应力集中、金属走线等弯折断裂的问题。

综上所述,现有技术的柔性基板,由于在柔性基板之上制备薄膜晶体管后,导致弯折区的应力中性线与金属走线层不统一,导致弯折区域容易出现应力集中、金属走线层弯折断裂的问题。故,有必要提供一种新的柔性薄膜基板及其制备、显示面板、显示装置方法来改善这一缺陷。

发明内容

本发明实施例提供一种柔性薄膜基板,用于解决现有技术的柔性基板,由于在柔性基板之上制备薄膜晶体管后,导致弯折区的应力中性线与金属走线层不统一,导致弯折区域容易出现应力集中、金属走线层弯折断裂的技术问题。

本发明实施例提供一种柔性薄膜基板,所述柔性薄膜基板包括柔性衬底,所述柔性衬底包括层叠设置的第一衬底层和第二衬底层,所述第二衬底层设置在所述第一衬底层之上;其中,所述第二衬底层的弯折区设置有至少一个凹槽。

进一步的,所述柔性衬底还包括第三衬底层,所述第三衬底层设置于所述第一衬底层远离所述第二衬底层的一侧、或者设置于所述第二衬底层远离所述第一衬底层的一侧。

进一步的,所述第一衬底层与所述第二衬底层之间设置有阻隔层。

进一步的,所述第一衬底层的弯折区设置有至少一个凹槽。

进一步的,所述第一衬底层的弯折区的凹槽的大小、形状对应于所述第二衬底层的弯折区的凹槽。

进一步的,所述凹槽的截面形状为长方形、梯形、或者半圆形。

本发明实施例提供一种柔性薄膜基板的制备方法,所述方法包括步骤:

S101、提供一支撑层,在所述支撑层上涂覆聚酰胺酸溶液,制得第一衬底层;

S102、在所述第一衬底层之上制备有机材料层,并将所述有机材料层图案化,在所述柔性薄膜基板的弯折区形成凸起;

S103、在所述第一衬底层之上涂覆聚酰胺酸溶液,所述聚酰胺酸溶液覆盖所述有机材料层;

S104、低温烘烤所述聚酰胺酸溶液,制得聚酰胺酸膜层;

S105、将所述柔性薄膜基板置于高纯氮气气氛中升温脱水,所述聚酰胺酸膜层发生高温热酰亚胺化反应,制得第二衬底层,且所述有机材料层分解并逸出气体,形成凹槽;

S106、将所述第一衬底层与所述支撑层剥离,制得所述柔性薄膜基板。

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