[发明专利]一种集输管道可控速的缓蚀剂涂膜装置

权利要求书

1.一种集输管道可控速的缓蚀剂涂膜装置，其特征在于，包括：可控速部件(1)及涂膜器(2)；其中：

所述可控速部件(1)内部为高压储气筒(7)；所述高压储气筒(7)外周套设至少一个密封皮碗(8)；

所述高压储气筒(7)的前端安装有速度控制阀(5)和第一组旋转机构(6)；所述高压储气筒(7)的后端安装有第二组旋转机构(6)和第一连接环(3)；第一组所述旋转机构(6)从轴向速度分解出一个旋转速度使所述高压储气筒(7)和所述速度控制阀(5)旋转；

所述高压储气筒(7)外壁沿周向均匀安装有多个周向转动轴承(14)和两组轴向转动轴承；其中，每组轴向转动轴承包括多个在周向均匀分布的轴向转动轴承(13)；

所述涂膜器(2)的筒体内部中空用来储存缓蚀剂，筒体外周设有出液槽和涂膜刷(10)；所述筒体的前后两端分别安装动力机构(12)；其中，所述筒体的前端设有第二连接环(4)；

所述第一连接环(3)与所述第二连接环(4)连接；

当所述涂膜装置超过预设速度时，所述速度控制阀(5)开启。

2.根据权利要求1所述的一种集输管道可控速的缓蚀剂涂膜装置，其特征在于，所述速度控制阀(5)的阀体内设有圆锥形阀瓣(15)、伸缩阀杆(16)、压缩弹簧(19)、上顶盖(20)和配重环(21)；

所述圆锥形阀瓣(15)与伸缩阀杆(16)通过螺纹连接；所述伸缩阀杆(16)与阀体之间通过填料函密封(17)；

所述伸缩阀杆(16)中间设有变径环(18)，所述变径环(18)与上顶盖(20)之间设有预设弹力的压缩弹簧(19)；

所述伸缩阀杆(16)顶部与所述配重环(21)之间通过螺纹连接。

3.根据权利要求2所述的一种集输管道可控速的缓蚀剂涂膜装置，其特征在于，所述高压储气筒(7)的后端还安装有单向阀(9)；

所述单向阀(9)由圆台型阀瓣(25)、开启弹簧(26)和充气口(27)组成；

所述开启弹簧(26)套设于圆台型阀瓣(25)外周，当所述充气口(27)处的压力大于所述开启弹簧(26)的弹力时，圆台型阀瓣(25)将被打开。

4.根据权利要求1所述的一种集输管道可控速的缓蚀剂涂膜装置，其特征在于，所述旋转机构(6)包括方形支座(42)；所述方形支座(42)的每一面上均设有方形套筒(23)、伸缩支撑杆(22)、内置弹簧(24)和滚动轮(28)；

所述内置弹簧(24)位于所述方形套筒(23)中，所述伸缩支撑杆(22)位于所述内置弹簧(24)上；所述滚动轮(28)位于滚轮支座(29)上；所述滚轮支座(29)固定在所述伸缩支撑杆(22)的一端；

位于方形支座(42)四个面上的所述滚动轮(28)均与管道轴线成45°且偏转方向一致。

5.根据权利要求1所述的一种集输管道可控速的缓蚀剂涂膜装置，其特征在于，所述涂膜器(2)的筒体前端还包括转动轴(30)：所述第二连接环(4)固定在所述转动轴(30)上；

所述转动轴(30)根部的前端和后端分别放置有一个推力轴承(32)，由轴承盖(31)和后基座(33)将两个推力轴承(32)固定在其中。

6.根据权利要求5所述的一种集输管道可控速的缓蚀剂涂膜装置，其特征在于，所述涂膜器(2)的筒体外壁沿周向均匀布置多组涂膜刷(10)，在每组涂膜刷(10)之间布置一个半圆柱出液槽(11)；

所述筒体内部对应所述半圆柱出液槽(11)处安装有半圆柱出液阀(38)，所述半圆柱出液阀(38)的一端螺纹连接一个旋钮(40)；

所述筒体的内部均匀设有多个分液隔板(43)，可使内部缓蚀剂与所述涂膜器(2)一起旋转。

7.根据权利要求6所述的一种集输管道可控速的缓蚀剂涂膜装置，其特征在于，所述筒体的后端安装有储液盖(41)，所述储液盖(41)与所述筒体之间设有橡胶垫圈(39)；

所述储液盖(41)上设有方形基座(42)，所述方形基座(42)上安装一组所述动力机构(12)。