[发明专利]单臂组合设备调度方法、系统、移动终端及存储介质

权利要求书

1.一种单臂组合设备调度方法，其特征在于，所述方法包括：

分析多品种晶圆同时加工时单臂组合设备的可调度性，并根据所述可调度性提出死锁避免规则；

根据所述死锁避免规则建立Petri网模型；

获取本地加工策略，并将所述加工策略在所述Petri网模型中进行计算，以得到多品种晶圆同时加工时所述单臂组合设备的最优调度算法；

根据所述最优调度算法控制所述单臂组合设备进行加工调度。

2.如权利要求1所述的单臂组合设备调度方法，其特征在于，所述根据所述可调度性提出死锁避免规则的步骤包括：

当所述单臂组合设备中的机械手从制造单元MU_i(i∈N_n)卸载晶圆并移动至下一道加工工序S_i-next需满足下列条件之一：

当制造单元MU_i(i＝0)中待加工的晶圆个数不少于1时，S_i-next＝MU_i-next为空闲状态；

当制造单元MU_i(i∈N_n⁺)中加工晶圆个数为1时，S_i-next＝MU_i-next为空闲状态；

当制造单元MU_i(i∈N_n⁺)中加工晶圆个数为1时，S_i-next＝MU_n+1。

3.如权利要求1所述的单臂组合设备调度方法，其特征在于，所述根据所述死锁避免规则建立Petri网模型的步骤包括：

获取所述死锁避免规则中存储的所述单臂组合设备同时加工多品种晶圆时系统的运行特点和机械手的动作序列；

根据所述运行特点和所述机械手的动作序列以建立所述Petri网模型；

其中，单臂组合设备同时加工多品种晶圆，第i种晶圆的晶圆流i∈Nζ⁺，x_jⁱ∈N_n⁺，m_i≤n。