[发明专利]滤光结构

权利要求书

1.一种滤光结构，包括：

一基板，具有复数光电转换元件；

一介电堆叠层，设置于该基板上；

一平坦层，设置于该介电堆叠层上；

其中该介电堆叠层具有一楔形部与一平坦部，该平坦部相邻于该楔形部，该楔形部具有一连续或非连续变化的厚度，且该平坦部具有一实质上不变的厚度。

2.如权利要求1所述的滤光结构，其中该介电堆叠层包括交互堆叠的复数第一介电层与复数第二介电层，每该第一介电层的折射率与每该第二介电层的折射率不同，在该楔形部中的每该第一介电层具有一连续或非连续变化的厚度，且在该楔形部中的每该第二介电层具有一连续或非连续变化的厚度。

3.如权利要求2所述的滤光结构，其中每该第一介电层的折射率介于2至2.5，且每该第一介电层的材料包括二氧化锆、五氧化二钽、五氧化二铌、硫化锌、二氧化钛、氧化铟锡、氧化锡或氧化锌。

4.如权利要求2所述的滤光结构，其中每该第二介电层的折射率介于1.2至1.8，且每该第二介电层的材料包括氟化钙、氟化镁、三氟化镧、二氧化硅、氧化铝或二氧化铪。

5.如权利要求2所述的滤光结构，其中该楔形部从靠近该平坦部的一侧至远离该平坦部的一侧逐渐变薄，且该楔形部围绕该平坦部。

6.如权利要求2所述的滤光结构，其中该楔形部从靠近该平坦部的一侧至远离该平坦部的一侧逐渐变厚，且该楔形部围绕该平坦部。

7.如权利要求1所述的滤光结构，还包括：

复数遮光层，设置于该介电堆叠层上，其中该复数遮光层包括：

一第一遮光层，设置于该平坦层上；及

至少一第二遮光层，设置于该平坦层内并设置于该介电堆叠层上。

8.如权利要求7所述的滤光结构，其中该第一遮光层包括复数第一孔洞，而该至少一第二遮光层包括复数第二孔洞，该复数第一孔洞对应于该复数第二孔洞，该复数第一孔洞的每一个对应于该复数光电转换元件的其中之一，且该复数第二孔洞的每一个对应于该复数光电转换元件的其中之一。

9.如权利要求8所述的滤光结构，其中该复数第一孔洞的每一个的宽度在平行于该基板的一顶表面的一方向上大于1μm且小于150μm，而该复数第二孔洞的每一个的宽度在平行于该基板的该顶表面的该方向上大于1μm且小于150μm，该复数第一孔洞的每一个的宽度与该复数第二孔洞的每一个的宽度不同，且该复数第一孔洞与该复数第二孔洞限制光的入射角介于0至10°。

10.如权利要求8所述的滤光结构，其中该复数第一孔洞形成一对称图案。

11.如权利要求10所述的滤光结构，其中该复数第一孔洞以同心圆排列。