[发明专利]滤光结构

说明书

本公开提出一种滤光结构。滤光结构包括一基板，基板具有复数光电转换元件。滤光结构也包括一介电堆叠层，介电堆叠层设置于基板上。滤光结构还包括一平坦层，平坦层设置于介电堆叠层上。介电堆叠层具有一楔形部与一平坦部，平坦部相邻于楔形部，楔形部具有一连续或非连续变化的厚度，且平坦部具有一实质上不变的厚度。

技术领域

本公开实施例涉及一种滤光结构，且特别有关于一种包括介电堆叠层的滤光结构。

背景技术

滤光器已广泛用于各种装置，例如光谱仪、环境光感测器、颜色感测器、图像感测器、光谱检查装置等。然而，传统的滤光结构并未满足各方面的需求。举例来说，从传统的滤光结构获得的光谱可能由于倾斜的(oblique)入射光而具有意外的变形。再者，很难将传统的滤光结构的尺寸减小至例如几微米以满足需求。

发明内容

根据本公开的一些实施例，提出一种滤光结构。滤光结构包括一基板，基板具有复数光电转换元件。滤光结构也包括一介电堆叠层，介电堆叠层设置于基板上。滤光结构还包括一平坦层，平坦层设置于介电堆叠层上。介电堆叠层具有一楔形部与一平坦部，平坦部相邻于楔形部，楔形部具有一连续或非连续变化的厚度，且平坦部具有一实质上不变的厚度。

附图说明

以下将配合附图详述本公开实施例。应注意的是，各种特征部件并未按照比例绘制且仅用以说明例示。事实上，元件的尺寸可能经放大或缩小，以清楚地表现出本公开实施例的技术特征。

图1显示根据本公开一实施例的滤光结构的部分剖面图。

图2显示根据本公开一实施例的滤光结构的部分放大图。

图3显示根据本公开另一实施例的滤光结构的部分剖面图。

图4显示根据本公开实施例的滤光结构的部分放大图。

图5显示根据本公开一实施例的滤光结构的部分剖面图。

图6显示根据本公开另一实施例的滤光结构的部分剖面图。

图7显示根据本公开一实施例的第一遮光层的第一孔洞的部分俯视图。

附图标记说明：

100、102、104、106～滤光结构

10～基板

10T～顶表面

12、12C、12P、12F～光电转换元件

20、22、24、26～介电堆叠层

20-1、22-1、24-1、26-1～楔形部

20-2、22-2、24-2、26-2～楔形部

20-3、22-3、24-3、26-3～平坦部

21～第一介电层

23～第二介电层

30～平坦层

40～遮光层

41～第一遮光层

41a～第一孔洞

43～第二遮光层

43a～第二孔洞

D1～方向

L～光

W1～宽度

W2～宽度

α～入射角

具体实施方式