[发明专利]对显微镜图像的智能计量

说明书

本文公开的智能计量方法和设备处理图像以用于所需特征的自动计量。实例方法至少包含：从图像中提取感兴趣区域，所述区域包含不同区段之间的一个或多个边界；基于一个或多个滤波器至少增强所提取的感兴趣区域；基于增强的感兴趣区域生成所述感兴趣区域的多比例数据集；初始化所述感兴趣区域的模型；基于所述感兴趣区域的所述模型并且进一步基于所述多比例数据集优化所述增强的感兴趣区域内的多个主动轮廓，优化的多个主动轮廓识别所述感兴趣区域内的所述一个或多个边界；以及基于所识别的边界对所述感兴趣区域执行计量。

技术领域

本文公开的技术大体涉及使用图像实施智能计量，并且更具体地说，涉及对利用带电粒子显微镜获得的图像执行智能计量。

背景技术

图像中的特征的计量可能是困难且漫长的过程，尤其是对于通过带电粒子显微镜获得的图像。难度和冗长的过程可能部分地归因于自动成像处理算法难以处理的有噪声图像，这导致用户操纵和多个步骤。当只有少量图像要分析时，这可能不是问题。然而，在例如半导体工业(其中大数目个样本被成像并且需要分析)的制造环境中，此过程真正减慢了所需的分析。

虽然多年来图像处理已发生一些改善，从而改善了计量准确度和效率，但在当今的半导体制造环境中，这些改善还不够，例如节点大小和吞吐量。因此，在整个行业中需要改善图像处理和计量自动化。

发明内容

本文公开的智能计量方法和设备处理图像以用于所需特征的自动计量。实例方法至少包含：从图像中提取感兴趣区域，所述区域包含不同区段之间的一个或多个边界；基于一个或多个滤波器至少增强所提取的感兴趣区域；基于增强的感兴趣区域生成所述感兴趣区域的多比例数据集；初始化所述感兴趣区域的模型；基于所述感兴趣区域的所述模型并且进一步基于所述多比例数据集优化所述增强的感兴趣区域内的多个主动轮廓，优化的多个主动轮廓识别所述感兴趣区域内的所述一个或多个边界；以及基于所识别的边界对所述感兴趣区域执行计量。

另一实施例包含非暂时性计算机可读介质，其包含代码，当由一个或多个处理器执行时，所述代码使得所述一个或多个处理器：从图像中提取感兴趣区域，所述区域包含所述感兴趣区域的不同区段之间的一个或多个边界；基于一个或多个滤波器至少增强所提取的感兴趣区域；基于增强的感兴趣区域生成所述感兴趣区域的多比例数据集；初始化所述感兴趣区域的模型，初始化模型至少确定所述感兴趣区域的第一界限和第二界限；基于所述感兴趣区域的所述模型并且进一步基于所述多比例数据集优化所述增强的感兴趣区域内的多个主动轮廓，优化的多个主动轮廓识别所述感兴趣区域内的所述一个或多个边界；以及基于所识别的边界对所述感兴趣区域执行计量。

附图说明

本专利或申请文件含有至少一幅彩色附图。具有彩色附图的本专利或专利申请公开的副本将在请求和支付必要费用后由主管局提供。

图1是示出根据本公开的实施例的图像处理和所得计量的实例图像序列。

图2是示出根据本公开的实施例的图像处理的实例图像序列。

图3是根据本公开的实施例的用于处理图像并且对图像内的一个或多个特征执行计量的实例方法。

图4是根据本公开的实施例的用于优化ROI内的多个主动轮廓的方法。

图5是根据本公开的实施例的实例图像序列。

图6是根据本公开的实施例的实例方法。

图7是说明可以在其上实施本发明的实施例的计算机系统的框图。

图8是用于执行本文中公开且根据本公开的实施例的方法的至少一部分的实例带电粒子显微镜环境。

贯穿图式的若干视图，相同的参考标号指代对应的零件。

具体实施方式