[发明专利]一种翻舟装置

说明书

本发明公开了一种翻舟装置，包括翻舟紧固装置，夹持装置及翻转装置；紧固装置包括基准部和用于限位花篮移动部；夹持装置包括机架，机架上设置有用于夹紧或者松开花篮的夹持装置；翻转装置包括设置于翻舟与翻转装置之间的传动结构；本发明能保证翻舟在翻转花篮的过程中,无论转动角度如何，均能使花篮及花篮内的硅片不会掉落，通过移动板的上下移动达到全方位固定花篮的目的；在夹紧装置启动时，能从多方位保证花篮是被稳定夹紧的，且夹紧速度快；且本发明设置传动结构实现翻舟的翻转，并通过设置定位装置控制翻转的角度，在传送时，花篮为水平状态，煅烧时花篮为竖立状态，既保证了传送安全，又保证了煅烧充分。

技术领域

本发明涉及一种翻舟装置。

背景技术

半导体或光伏材料广泛应用于电子、新能源等行业，半导体和光伏材料通常都需要经过加工处理才能够应用到产品上，CVD技术、扩散工艺或氧化工艺是其中的一种处理方式，其中CVD即化学气相沉积，CVD技术目前已经广泛用于半导体或光伏材料加工，常见的加工设备有PECVD、LPCVD、APCVD等，除了CVD之外还有扩散工艺包括磷扩散、硼扩散等。目前行业内已有不少相关的设备，可以针对具体的加工需求来选择相应的设备进行加工，半导体或光伏材料的加工，通常是将片状材料送入炉中在一定温度和压力的条件下进行反应来实现，在对半导体或者光伏材料加工的过程中，通常采用一些装置来装载或移动待加工的、加工中的或者加工后的材料，行业内通常把这种装载或者移动的装置称为舟、小舟或者花篮。

在半导体或光伏材料加工过程中，花篮是需要被传输的，这种传输包括从上一个工位移动至下一个工位，而传输的方向也会多样，例如，平行移动、上下移动或者是转动等，这个传输会根据需求的不同而作调整的，但是不管是哪种方式上的传输，在传输的途中都需要保证花篮其稳定性，防止花篮在传输途中发生花篮脱落等情况。

发明内容

本发明为了克服现有技术的不足，提供一种翻舟装置。

为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案：一种翻舟装置，其特征在于，一种翻舟装置，包括翻舟固定装置、翻舟夹持装置，翻舟紧固装置和翻舟翻转装置；

其中，所述翻舟固定装置包括固定板和用于固定花篮的移动台,固定板和移动台之间设置有传动机构，使得移动台能够相对于固定板移动；

翻舟夹持装置包括机架，机架上设置有用于夹紧或者松开花篮的夹持装置；机架上设置有滑轨，夹持装置能沿着滑轨前后移动；

翻舟紧固装置包括基准部和用于限位花篮移动部；移动部能够相对基准部位移；

翻舟翻转装置包括翻舟、翻转装置以及设置于翻舟与翻转装置之间的传动结构；翻舟固定住花篮，夹持装置控制花篮的加紧或者松开，翻舟设置在翻转装置上；所述传动结构能够使翻转装置带动翻舟转动。

进一步地，所述传动机构包括传动块和传动块的驱动装置，传动块设置在固定板和移动台之间，传动块通过转动轴与固定板转动连接；传动块包括传动杆、导向杆和传动板一，传动杆、导向杆均垂直设置于传动板一的两侧；固定板上设置有第一腰型孔，传动杆和转动轴的安装方向相同，传动杆能够从第一腰形孔中穿出，并连接到驱动装置；移动台上设置有第二腰型孔，导向杆能在第二腰型孔内滑动；固定板上设置有第一导轨，移动台上固接有能沿着第一导轨滑动的第一滑块。

进一步地，第一腰型孔为弧形；第二腰型孔为直条型；移动台的边缘还设置有Z型固定块；传动板一为L型，转动轴设置在传动板一的交点处，转动轴垂直于传动板一；传动杆到转动轴的距离小于导向杆到转动轴的距离。