[发明专利]一种静电消除装置和方法以及电子扫描显微镜在审
| 申请号： | 201911024505.0 | 申请日： | 2019-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN110740556A | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | 汪金凤 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | H05F3/02 | 分类号： | H05F3/02;H01J37/28 |
| 代理公司： | 31237 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 曹廷廷 |
| 地址： | 201315*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 静电 传输部件 电子扫描显微镜 晶圆 接地部件 晶圆表面 静电电荷 导电 制程 残留 静电消除装置 机台 静电消除 硬件成本 释放 可移动 原有的 导出 量测 配合 | ||
1.一种静电消除装置，用于消除晶圆表面的静电电荷，其特征在于，包括接地部件、第一静电传输部件以及第二静电传输部件；
所述第一静电传输部件设置在所述接地部件上，所述第二静电传输部件设置在所述晶圆表面；
当所述第一静电传输部件与所述第二静电传输部件接触时，所述晶圆表面的静电电荷依次通过所述第二静电传输部件、所述第一静电传输部件、所述接地部件，所述接地部件接地以将所述晶圆表面的静电电荷导出。
2.如权利要求1所述的一种静电消除装置，其特征在于，所述第一静电传输部件包括导电pin针，当所述导电pin针与所述第二静电传输部件接触时，所述晶圆表面的静电电荷依次通过所述第二静电传输部件和所述导电pin针传入所述接地部件。
3.如权利要求2所述的一种静电消除装置，其特征在于，所述导电pin针的数量为多个。
4.如权利要求2所述的一种静电消除装置，其特征在于，所述第二静电传输部件包括导电衬垫，当所述导电pin针与所述导电衬垫接触时，所述晶圆表面的静电电荷依次通过所述导电衬垫、所述导电pin针、所述接地部件。
5.如权利要求4所述的一种静电消除装置，其特征在于，所述导电衬垫设置在所述晶圆的切割线内。
6.如权利要求4所述的一种静电消除装置，其特征在于，所述导电衬垫的数量为多个，所述导电衬垫间隔设置在所述晶圆上。
7.如权利要求6所述的一种静电消除装置，其特征在于，所述导电衬垫的数量为7个。
8.如权利要求1-7中任一所述的静电消除装置，其特征在于，所述接地部件包括一驱动部件，所述驱动部件与所述第一静电传输部件连接，并用于驱动所述第一静电传输部件做靠近或远离所述第二静电传输部件的运动。
9.一种电子扫描显微镜，其特征在于，包括权利要求1-7中任一项所述的接地部件以及第一静电传输部件。
10.一种静电消除方法，其特征在于，利用权利要求1-7中任一所述的静电消除装置。
11.如权利要求10所述的一种静电消除方法，其特征在于，所述方法包括：
S1：在所述晶圆上设置所述第二静电传输部件；
S2：所述接地部件驱动所述第一静电传输部件与所述第二静电传输部件接触；
S3：所述接地部件驱动所述第一静电传输部件远离所述第二静电传输部件。
12.如权利要求11所述的一种静电消除方法，其特征在于，所述S2包括：
S21：设定所述第一静电传输部件与所述第二静电传输部件的接触时间；
S22：所述接地部件驱动所述第一静电传输部件与所述第二静电传输部件接触；
S23：判断所述接地部件驱动所述第一静电传输部件与所述第二静电传输部件已接触时间是否等于设定的接触时间，若是，则进入S3，若否，则返回S22。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海华力微电子有限公司，未经上海华力微电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201911024505.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种全集成电动车闪光器驱动芯片
- 下一篇：一种用于电子设备的静电消除结构
