[发明专利]探针防误触方法、装置及系统

权利要求书

1.一种探针防误触方法，其特征在于，包括：

将测距仪的测距光斑和样品架调节至探针的针尖正下方第一测试距离处；其中，在近场扫描成像装置上设置一测距仪，所述测距仪与探针固定安装在一起，通过一定的角度设计，实时测量探针的针尖至样品之间的距离；

控制所述样品架水平移动并通过所述测距仪随机对N个不在同一直线的检测点进行测距，得到每一所述检测点与所述探针针尖的间距；N≥3；

若每一所述检测点对应的间距与所述第一测试距离的第一误差值均小于预设阈值，则将所述测距光斑和所述样品架调节至所述探针的针尖正下方第二测试距离处；其中，所述第二测试距离小于第一测试距离；

根据预设扫描成像范围控制放置有样品的所述样品架移动，通过所述测距仪对若干预设的扫描点进行测距，得到每一所述扫描点与所述探针针尖的间距；

若根据所述若干扫描点对应的间距确定所述样品平整，则将所述测距光斑和所述样品架调节至所述探针的针尖正下方扫描距离处，以进行成像扫描；其中，所述扫描距离小于第二测试距离。

2.如权利要求1所述的探针防误触方法，其特征在于，在控制所述样品架水平移动并通过所述测距仪随机对N个不在同一直线的检测点进行测距，得到每一所述检测点与所述探针针尖的间距之后，还包括：

若任一所述检测点对应的间距与所述第一测试距离的第一误差值大于所述预设阈值，则根据所述N个检测点对应的间距和位置信息调整所述样品架，并重新控制所述样品架水平移动并通过所述测距仪随机对N个检测点进行测距。

3.如权利要求1所述的探针防误触方法，其特征在于，所述若根据所述若干扫描点对应的间距确定所述样品平整，将所述测距光斑和所述样品架调节至所述探针的针尖正下方扫描距离处，以进行成像扫描，包括：

若每一所述扫描点对应的间距与所述第二测试距离的第二误差值均小于所述预设阈值，则将所述测距光斑和所述样品架调节至所述探针的针尖正下方扫描距离处，以进行成像扫描。

4.如权利要求3所述的探针防误触方法，其特征在于，在根据预设扫描成像范围控制放置有样品的所述样品架移动，通过所述测距仪对若干预设的扫描点进行测距，得到每一所述扫描点与所述探针针尖的间距之后，还包括：

若任一所述扫描点对应的间距与所述第二测试距离的第二误差值大于所述预设阈值，则调整所述样品的摆放位置，并重新根据预设扫描成像范围控制放置有样品的所述样品架移动，通过所述测距仪对若干预设的扫描点进行测距。

5.如权利要求1-4任一项所述的探针防误触方法，其特征在于，所述方法还包括：

在扫描成像过程中，通过所述测距仪对每一所述扫描点进行测距，得到每一所述扫描点与所述探针针尖的间距；

若任一所述扫描点对应的间距与所述扫描距离的第三误差值大于所述预设阈值，则停止成像扫描。

6.如权利要求1所述的探针防误触方法，其特征在于，所述预设阈值为50微米。

7.一种探针防误触装置，其特征在于，包括：

第一调节模块，用于将测距仪的测距光斑和样品架调节至探针的针尖正下方第一测试距离处；其中，在近场扫描成像装置上设置一测距仪，所述测距仪与探针固定安装在一起，通过一定的角度设计，实时测量探针的针尖至样品之间的距离；

第一测距模块，用于控制所述样品架水平移动并通过所述测距仪随机对N个不在同一直线的检测点进行测距，得到每一所述检测点与所述探针针尖的间距；N≥3；

第二调节模块，用于若每一所述检测点对应的间距与所述第一测试距离的第一误差值均小于预设阈值，则将所述测距光斑和所述样品架调节至所述探针的针尖正下方第二测试距离处；其中，所述第二测试距离小于所述第一测试距离；

第二测距模块，用于根据预设扫描成像范围控制放置有样品的所述样品架移动，通过所述测距仪对若干预设的扫描点进行测距，得到每一所述扫描点与所述探针针尖的间距；

第三调节模块，用于若根据所述若干扫描点对应的间距确定所述样品平整，则将所述测距光斑和所述样品架调节至所述探针的针尖正下方扫描距离处，以进行成像扫描其在，所述扫描距离小于所述第二测试距离。