[发明专利]探针防误触方法、装置及系统

说明书

本申请属于扫描成像技术领域，提供了一种探针防误触方法、装置及系统，所述方法包括：将测距仪的测距光斑和样品架调节至探针的针尖正下方第一测试距离处；控制样品架水平移动并通过测距仪随机对N个不在同一直线的检测点进行测距；若每一检测点对应的间距与第一测试距离的第一误差值均小于预设阈值，则将测距光斑和样品架调节至探针的针尖正下方第二测试距离处；根据预设扫描成像范围控制放置有样品的所述样品架移动，通过所述测距仪对若干预设的扫描点进行测距；若确定所述样品平整，则将所述测距光斑和所述样品架调节至所述探针的针尖正下方扫描距离处，以进行成像扫描。本申请实施例解决不能实时监测样品到探针的距离的问题。

技术领域

本发明涉及扫描成像技术领域，尤其涉及一种探针防误触方法、装置及系统。

背景技术

目前，太赫兹近场成像方法已经有较成熟的研究，比如利用探针技术和激光器自混频效应探测目标的近场太赫兹信号，进而实现高分辨率成像功能。太赫兹近场成像受限于探测距离和隐失场信息的衰减，近场成像分辨率多为亚波长量级。已有的太赫兹近场成像装置多使用近场探针，在半波长(约200微米)距离内探测样品表面的隐失场信息。由于探测距离过小，样品在扫描过程中一旦发生小角度的俯仰，就存在触碰到探针的风险。

虽然有的科研人员会通过激光测距的方法保护探针，但他们是将激光发射器固定在一个位置上探测到样品的距离，这种方法需要控制样品移动的提前量，并不能实时监测样品到探针的距离。

发明内容

有鉴于此，本发明实施例提供了一种探针防误触方法、装置及系统，以解不能实时监测样品到探针的距离的问题。

本发明实施例的第一方面提供了一种探针防误触方法，包括：

将测距仪的测距光斑和样品架调节至探针的针尖正下方第一测试距离处；

控制所述样品架水平移动并通过所述测距仪随机对N个不在同一直线的检测点进行测距，得到每一所述检测点与所述探针针尖的间距；N≥3；

若每一所述检测点对应的间距与所述第一测试距离的第一误差值均小于预设阈值，则将所述测距光斑和所述样品架调节至所述探针的针尖正下方第二测试距离处；

根据预设扫描成像范围控制放置有样品的所述样品架移动，通过所述测距仪对若干预设的扫描点进行测距，得到每一所述扫描点与所述探针针尖的间距；

若根据所述若干扫描点对应的间距确定所述样品平整，则将所述测距光斑和所述样品架调节至所述探针的针尖正下方扫描距离处，以进行成像扫描。

在一个实施示例中，在控制所述样品架水平移动并通过所述测距仪随机对N个不在同一直线的检测点进行测距，得到每一所述检测点与所述探针针尖的间距之后，还包括：

若任一所述检测点对应的间距与所述第一测试距离的第一误差值大于所述预设阈值，则根据所述N个检测点对应的间距和位置信息调整所述样品架，并重新控制所述样品架水平移动并通过所述测距仪随机对N个不在同一直线的检测点进行测距。

在一个实施示例中，所述若根据所述若干扫描点对应的间距确定所述样品平整，将所述测距光斑和所述样品架调节至所述探针的针尖正下方扫描距离处，以进行成像扫描，包括：

若每一所述扫描点对应的间距与所述第二测试距离的第二误差值均小于所述预设阈值，则将所述测距光斑和所述样品架调节至所述探针的针尖正下方扫描距离处，以进行成像扫描。

在一个实施示例中，在根据预设扫描成像范围控制放置有样品的所述样品架移动，通过所述测距仪对若干预设的扫描点进行测距，得到每一所述扫描点与所述探针针尖的间距之后，还包括：

若任一所述扫描点对应的间距与所述第二测试距离的第二误差值大于所述预设阈值，则调整所述样品的摆放位置，并重新根据预设扫描成像范围控制放置有样品的所述样品架移动，通过所述测距仪对若干预设的扫描点进行测距；