[发明专利]互连结构在审
| 申请号： | 201911025768.3 | 申请日： | 2019-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN112397480A | 公开（公告）日： | 2021-02-23 |
| 发明（设计）人： | 康庭慈;丘世仰 | 申请（专利权）人： | 南亚科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/528 | 分类号： | H01L23/528 |
| 代理公司： | 北京中誉威圣知识产权代理有限公司 11279 | 代理人： | 席勇;董云海 |
| 地址： | 中国台湾新*** | 国省代码： | 台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 互连 结构 | ||
1.一种互连结构，其特征在于，包括：
第一绝缘层；
第一导线，嵌入所述第一绝缘层中，所述第一导线包括第一部分和第二部分；
第二绝缘层，设置在所述第一绝缘层上；
第二导线，嵌入所述第二绝缘层中，所述第二导线包括第三部分和第四部分；以及
第一导电通孔、第二导电通孔以及第三导电通孔嵌入所述第一绝缘层，所述第一导电通孔连接所述第一部分和所述第三部分，所述第二导电通孔连接所述第二部分和所述第三部分，所述第三导电通孔连接所述第二部分和所述第四部分，
其中由所述第一部分、所述第二部分、所述第三部分、所述第一导电通孔和所述第二导电通孔围绕的第一横截面面积实质上等于由所述第二部分、所述第三部分、所述第四部分、所述第二导电通孔和所述第三导电通孔围绕的第二横截面面积。
2.如权利要求1所述的互连结构，其特征在于，所述第一横截面面积实质上是所述第一部分和所述第三部分之间的高度乘以所述第一导电通孔和所述第二导电通孔之间的距离。
3.如权利要求1所述的互连结构，其特征在于，所述第二横截面面积实质上是所述第二部分和所述第四部分之间的高度乘以所述第二导电通孔和所述第三导电通孔之间的距离。
4.如权利要求1所述的互连结构，其特征在于，所述第一部分和所述第三部分之间的高度实质上等于所述第一导电通孔和所述第二导电通孔之间的距离。
5.如权利要求1所述的互连结构，其特征在于，所述第二部分和所述第四部分之间的高度实质上等于所述第二导电通孔和所述第三导电通孔之间的距离。
6.如权利要求1所述的互连结构，其特征在于，所述第一部分和所述第三部分之间的高度大于所述第一导电通孔和所述第二导电通孔之间的距离。
7.如权利要求1所述的互连结构，其特征在于，所述第二部分和所述第四部分之间的高度大于所述第二导电通孔和所述第三导电通孔之间的距离。
8.如权利要求1所述的互连结构，其特征在于，所述第一部分和所述第三部分之间的高度小于所述第一导电通孔和所述第二导电通孔之间的距离。
9.如权利要求1所述的互连结构，其特征在于，所述第二部分和所述第四部分之间的高度小于所述第二导电通孔和所述第三导电通孔之间的距离。
10.一种互连结构，其特征在于，包括：
第一绝缘层；
第一导线，嵌入所述第一绝缘层中；
第二绝缘层，设置在所述第一绝缘层上；
第二导线，嵌入所述第二绝缘层中，所述第二导线包括第一部分、第二部分和第三部分；
第三绝缘层，设置在所述第二绝缘层上；
第三导线，嵌入所述第三绝缘层中；
第一导电通孔和第二导电通孔嵌入所述第一绝缘层中，所述第一导电通孔连接所述第一导线和所述第一部分，所述第二导电通孔连接所述第一导线和所述第二部分；以及
第三导电通孔和第四导电通孔嵌入所述第二绝缘层中，所述第三导电通孔连接所述第一部分和所述第三导线，第四导电通孔连接第三部分和第三导线，
其中由所述第一导线、所述第一导电通孔、所述第二导电通孔、所述第一部分和所述第二部分围绕的第一横截面面积实质上等于由所述第一部分、所述第三部分、所述第三导电通孔、所述第四导电通孔和所述第三导线围绕的第二横截面面积。
11.如权利要求10所述的互连结构，其特征在于，所述第一横截面面积实质上是所述第一导线和所述第一部分之间的高度乘以所述第一导电通孔和所述第二导电通孔之间的距离。
12.如权利要求10所述的互连结构，其特征在于，所述第一横截面面积实质上是所述第一导线和所述第二部分之间的高度乘以所述第一导电通孔和所述第二导电通孔之间的距离。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南亚科技股份有限公司，未经南亚科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201911025768.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种显示设备及色域空间动态调整方法
- 下一篇：无线通讯装置及壳体总成
