[发明专利]一种太阳能电池制备方法

权利要求书

1.一种太阳能电池制备方法，其特征在于，包括：

在衬底层的预设表面加入掺杂离子以形成发射结；

通过激光照射所述发射结表面的预设区域，以形成选择性发射结；

刻蚀所述选择性发射结背向所述衬底层一侧表面预设深度，以使暴露出的所述预设区域的掺杂浓度大于所述选择性发射结表面中非预设区域的掺杂浓度；

设置覆盖所述预设区域的第一电极，以及与所述衬底层电连接的第二电极，以制成所述太阳能电池。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述在衬底层的预设表面加入掺杂离子以形成发射结包括：

在p型衬底层的预设表面进行磷扩散以形成发射结。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述在p型衬底层的预设表面进行磷扩散以形成发射结包括：

在p型衬底层的预设表面进行磷扩散以形成发射结；所述发射结表面掺杂浓度不小于3×10²⁰/cm³。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述通过激光照射所述发射结表面的预设区域，以形成选择性发射结包括：

通过激光照射所述发射结表面的预设区域，以形成选择性发射结；所述预设区域的表面掺杂浓度不小于2.8×10²⁰/cm³。

5.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述刻蚀所述选择性发射结背向所述衬底层一侧表面预设深度，以使暴露出的所述预设区域的掺杂浓度大于所述选择性发射结表面中非预设区域的掺杂浓度包括：

通过酸腐蚀溶液刻蚀所述选择性发射结背向所述衬底层一侧表面预设深度，以使暴露出的所述预设区域的掺杂浓度大于所述选择性发射结表面中非预设区域的掺杂浓度。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述酸腐蚀溶液包括质量浓度为0.1％-2％的氢氟酸、质量浓度为30％-70％的硝酸。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述刻蚀所述选择性发射结背向所述衬底层一侧表面预设深度包括：

刻蚀所述选择性发射结背向所述衬底层一侧表面预设深度；所述预设深度的取值范围为20nm至150nm，包括端点值。

8.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，在所述通过酸腐蚀溶液刻蚀所述选择性发射结背向所述衬底层一侧表面预设深度之后，所述方法还包括：

去除所述选择性发射结表面形成的多孔硅。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述去除所述选择性发射结表面形成的多孔硅包括：

通过碱溶液去除所述选择性发射结表面形成的多孔硅；所述碱溶液的溶质为氢氧化钠或氢氧化钾，所述碱溶液中溶质的浓度在1‰至5％之间，包括端点值。

10.根据权利要求根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述刻蚀所述选择性发射结背向所述衬底层一侧表面预设深度之后，所述方法还包括：

在所述选择性发射结背向所述衬底层一侧表面形成一保护层。