[发明专利]防尘结构及其制作方法

权利要求书

1.一种防尘结构的制作方法，防尘结构用于传感器的防尘，所述传感器包括壳体和设置于壳体内的感测单元，所述壳体设有连通孔，所述连通孔连通感测单元和外部环境，所述防尘结构的防尘部盖合于所述连通孔，其特征在于，所述防尘结构的制作方法包括以下步骤：

提供基板，在基板的一表面设置离型膜；

在离型膜的表面沉积形成金属层；

通过光刻工艺在金属层形成多个防尘网孔，其中，多个防尘网孔共同形成防尘部；

将形成防尘部的金属层与离型膜相互分离。

2.如权利要求1所述的防尘结构的制作方法，其特征在于，所述通过光刻工艺在金属层形成多个防尘网孔的步骤包括：

在金属层表面涂布光阻；

对光阻进行曝光和显影，得到具有防尘网孔的预设尺寸的光阻；

对附着所述光阻的金属层进行蚀刻，并去除光阻，得到设置于金属层的多个防尘网孔。

3.如权利要求2所述的防尘结构的制作方法，其特征在于，所述在金属层的表面涂布光阻的步骤包括：

通过旋涂法将光阻涂布于所述金属层；

对所述光阻进行真空干燥，并去除金属层边缘的光阻；

对所述光阻进行烘烤；

对烘烤完成的光阻进行冷却。

4.如权利要求1所述的防尘结构的制作方法，其特征在于，所述通过光刻工艺在金属层形成多个防尘网孔，其中，多个防尘网孔共同形成防尘部的步骤之后，所述将形成防尘部的金属层与离型膜相互分离的步骤之前还包括：

在金属层形成环绕防尘部的第一切缝；

在金属层设置支撑材料层，并加工形成支撑部；

在支撑部背离金属层的一侧设置安置板。

5.如权利要求4所述的防尘结构的制作方法，其特征在于，所述在金属层设置支撑材料层，并加工形成支撑部的步骤包括：

在金属层的表面涂布感光材料；

对感光材料进行显影和刻蚀，以使感光材料形成显露防尘部的开孔，并形成显露第一切缝的第二切缝，得到支撑部。

6.如权利要求5所述的防尘结构的制作方法，其特征在于，所述在支撑部背离金属层的一侧设置安置板的步骤包括：

提供安置板，并在安置板的一表面涂布胶水；

控制涂布胶水的安置板的表面贴合于支撑部背离金属层的表面。

7.如权利要求1至6中任一项所述的防尘结构的制作方法，其特征在于，所述将形成防尘部的金属层与离型膜相互分离的步骤包括：

对所述离型膜和所述金属层相贴合的表面进行去除黏性的处理；

控制形成防尘部的金属层与失去黏性的离型膜分离。

8.如权利要求7所述的防尘结构的制作方法，其特征在于，所述控制形成防尘部的金属层与失去黏性的离型膜分离的步骤之后，还包括：

当金属层设置有第一切缝，支撑部设置有第二切缝时，防尘结构设置有安置板时，控制切割装置沿所述第一切缝和所述第二切缝的延伸路径切割所述安置板。

9.如权利要求8所述的防尘结构的制作方法，其特征在于，所述金属层的厚度小于2um；

和/或，所述防尘网孔的孔径小于3um。

10.一种防尘结构，其特征在于，所述防尘结构是由如权利要求1至9中任一项所述的防尘结构的制作方法制作。