[发明专利]防尘结构及其制作方法

说明书

本发明公开一种防尘结构及其制作方法、防尘结构用于传感器的防尘，所述传感器包括壳体和设置于壳体内的感测单元，所述壳体设有连通孔，所述连通孔连通感测单元和外部环境，所述防尘结构的防尘部盖合于所述连通孔，所述防尘结构的制作方法包括以下步骤：提供基板，在基板的一表面设置离型膜；在离型膜的表面沉积形成金属层；通过光刻工艺在金属层形成多个防尘网孔，其中，多个防尘网孔共同形成防尘部；将形成防尘部的金属层与离型膜相互分离。本发明技术方案旨在使防尘结构具有较好的防尘功能，并且能使被防尘的传感器与外部环境连通，保证传感器检测灵敏度和测量的准确度。

技术领域

本发明涉及传感器技术领域，特别涉及一种防尘结构及其制作方法。

背景技术

开放式传感器(例如麦克风传感器、温湿度计等等)的传感器核心需要与外界环境相连通，才能够感知周围环境的变化。而为了便于传感器的核心与外部环境连通，一般会设置连通孔。当传感器的核心与外界环境相通时，环境的异物(如粉尘、脏污等固态污染物，水雾等液态污染物)容易通过连通孔进入传感器内部，干扰传感器检测灵敏度和测量的准确度。

示例性技术中，通过在连通孔设置防尘结构，从而防止外部异物进入。但是由于传感器还需要与外部环境连通，一般的防尘结构仅具有防尘功能，并不能兼顾被防尘部件与外部环境的连通，如此，降低了传感器检测灵敏度和测量的准确度。

以上仅用于辅助理解本申请的技术方案，并不代表承认为现有技术。

发明内容

本发明的主要目的是提供一种防尘结构及其制作方法，旨在使防尘结构具有较好的防尘功能，并且能使被防尘的传感器与外部环境连通，保证传感器检测灵敏度和测量的准确度。

为实现上述目的，本发明提供一种的防尘结构的制作方法，防尘结构用于传感器的防尘，所述传感器包括壳体和设置于壳体内的感测单元，所述壳体设有连通孔，所述连通孔连通感测单元和外部环境，所述防尘结构的防尘部盖合于所述连通孔，所述防尘结构的制作方法包括以下步骤：

提供基板，在基板的一表面设置离型膜；

在离型膜的表面沉积形成金属层；

通过光刻工艺在金属层形成多个防尘网孔，其中，多个防尘网孔共同形成防尘部；

将形成防尘部的金属层与离型膜相互分离。

在本发明的一些实施例中，所述通过光刻工艺在金属层形成多个防尘网孔的步骤包括：

在金属层表面涂布光阻；

对光阻进行曝光和显影，得到具有防尘网孔的预设尺寸的光阻；

对附着所述光阻的金属层进行蚀刻，并去除光阻，得到设置于金属层的多个防尘网孔。

在本发明的一些实施例中，所述在金属层的表面涂布光阻的步骤包括：

通过旋涂法将光阻涂布于所述金属层；

对所述光阻进行真空干燥，并去除金属层边缘的光阻；

对所述光阻进行烘烤；

对烘烤完成的光阻进行冷却。

在本发明的一些实施例中，所述通过光刻工艺在金属层形成多个防尘网孔，其中，多个防尘网孔共同形成防尘部的步骤之后，所述将形成防尘部的金属层与离型膜相互分离的步骤之前还包括：

在金属层形成环绕防尘部的第一切缝；

在金属层设置支撑材料层，并加工形成支撑部；

在支撑部背离金属层的一侧设置安置板。

在本发明的一些实施例中，所述在金属层设置支撑材料层，并加工形成支撑部的步骤包括：