[发明专利]一种电热式MEMS扭转驱动器在审
| 申请号： | 201911036626.7 | 申请日： | 2019-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN112744777A | 公开（公告）日： | 2021-05-04 |
| 发明（设计）人： | 王鹏;黄兆兴;谢会开 | 申请（专利权）人： | 无锡微奥科技有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 无锡市朗高知识产权代理有限公司 32262 | 代理人： | 赵华 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新吴区菱湖*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 电热 mems 扭转 驱动器 | ||
1.一种电热式MEMS扭转驱动器，其特征在于该电热式MEMS扭转驱动器（1）由至少两种热膨胀系数不同材料组成的薄膜结构，该电热式MEMS扭转驱动器一端固定，另一端连接可动单元（2），该电热式MEMS扭转驱动器沿其中心线（3）成非对称分布，当电热式MEMS扭转驱动器（1）的温度变化时，电热式MEMS扭转驱动器（1）绕x轴方向转动，从而带动可动单元（2）转动。
2.根据权利要求1所述的一种电热式MEMS扭转驱动器，其特征在于所述电热式MEMS扭转驱动器中心线（3）不与固定端面垂直，且中心线（3）的斜率没有拐点。
3.根据权利要求1所述的一种电热式MEMS扭转驱动器，其特征在于所述可动单元（2）两侧对称安装该电热式MEMS扭转驱动器（1），该电热式MEMS扭转驱动器（1）与可动单元（2）之间使用柔性结构（4）连接。
4.根据权利要求1所述的一种电热式MEMS扭转驱动器，其特征在于所述薄膜结构的其中一种材料是金属或多晶硅。
5.一种电热式MEMS扭转驱动器组，其特征在于包括如权利要求1所述的两个电热式MEMS扭转驱动器（1），分别为电热式MEMS扭转驱动器（1A）和电热式MEMS扭转驱动器（1B），电热式MEMS扭转驱动器（1A）和电热式MEMS扭转驱动器（1B）左右对称，且两层薄膜材料上下顺序相反，电热式MEMS扭转驱动器组一端固定，另一端连接可动单元（2）。
6.根据权利要求5所述的一种电热式MEMS扭转驱动器组，其特征在于所述电热式MEMS扭转驱动器（1）由至少两种热膨胀系数不同材料组成的三层薄膜结构，该三层薄膜结构其中的一层薄膜（B1）制成连续平面，另两层相同材料的薄膜分别制作在薄膜（B1）的上下两面，且结构上分别在左右分布。
7.根据权利要求5所述的一种电热式MEMS扭转驱动器组，其特征在于可动单元（2）两侧对称安装所述电热式MEMS扭转驱动器组。
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