[发明专利]一种电热式MEMS扭转驱动器在审

申请号：	201911036626.7	申请日：	2019-10-29
公开（公告）号：	CN112744777A	公开（公告）日：	2021-05-04
发明（设计）人：	王鹏;黄兆兴;谢会开	申请（专利权）人：	无锡微奥科技有限公司
主分类号：	B81B3/00	分类号：	B81B3/00;B81B7/02
代理公司：	无锡市朗高知识产权代理有限公司 32262	代理人：	赵华
地址：	214000 江苏省无锡市新吴区菱湖***	国省代码：	江苏;32
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摘要：
搜索关键词：	一种电热 mems 扭转驱动器
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【说明书】：

一种电热式MEMS扭转驱动器，其特征在于该电热式MEMS扭转驱动器1由至少两种热膨胀系数不同材料组成的薄膜结构，该电热式MEMS扭转驱动器一端固定，另一端连接可动单元2，该电热式MEMS扭转驱动器中心线3不与固定端面垂直，且中心线3的斜率没有拐点，当电热式MEMS扭转驱动器1温度升高时，电热式MEMS扭转驱动器1绕x轴方向转动，从而带动可动单元2转动。优点：解决了现有电热式MEMS驱动器不易扭转的技术问题，具有结构简单、易实现的特点。

技术领域

本发明涉及的是一种电热式MEMS扭转驱动器，属于MEMS应用技术领域。

背景技术

MEMS驱动方式主要分为静电、电磁、电热和压电四种方式，其中静电和电磁被常用于扭转态驱动方式中。电热通常应用于垂直位移，较难运用于扭转态驱动，即使应用于扭转态驱动，其结构也非常复杂。例如，专利文献1、一种微电机系统扭转镜面驱动器、制作方法及应用（200410053563.3），公开了一种静电驱动用于扭转态的实施方案。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是如何使电热式MEMS驱动器扭转的技术问题。

本发明的技术方案：一种电热式MEMS扭转驱动器，其特征在于该电热式MEMS扭转驱动器1由至少两种热膨胀系数不同材料组成的薄膜结构，该电热式MEMS扭转驱动器一端固定，另一端连接可动单元2，该电热式MEMS扭转驱动器沿其中心线3成非对称分布，当电热式MEMS扭转驱动器1温度变化时，电热式MEMS扭转驱动器1绕x轴方向转动，从而带动可动单元2转动。

所述电热式MEMS扭转驱动器中心线3不与固定端面垂直，且中心线3的斜率没有拐点。

所述可动单元2两侧对称安装该电热式MEMS扭转驱动器1，该电热式MEMS扭转驱动器1与可动单元2之间使用柔性结构4连接。该柔性结构可以是弹簧。

一种电热式MEMS扭转驱动器组，包括两个电热式MEMS扭转驱动器1，分别为电热式MEMS扭转驱动器1A和电热式MEMS扭转驱动器1B，电热式MEMS扭转驱动器1A和电热式MEMS扭转驱动器1B左右对称，且两层薄膜材料上下顺序相反，电热式MEMS扭转驱动器组一端固定，另一端连接可动单元2。

所述电热式MEMS扭转驱动器1由至少两种热膨胀系数不同材料组成的三层薄膜结构，该三层薄膜结构其中的一层薄膜B1制成连续平面，另两层相同材料的薄膜分别制作在薄膜B1的上下两面，且结构上分别在左右分布。

可动单元2两侧对称安装所述电热式MEMS扭转驱动器组。

本发明的优点：解决了现有电热式MEMS驱动器不易扭转的技术问题，具有结构简单、易实现的特点。

附图说明

图1是实施例1中一种电热式MEMS扭转驱动器的示意图。

图2是实施例2中一种电热式MEMS扭转驱动器的示意图。

图3是实施例2在实验室内的显微照片。

图4是实施例3中电热式MEMS扭转驱动器组的示意图。

图5是实施例4中一种电热式MEMS扭转驱动器组的示意图。