[发明专利]配向液涂布方法及掩膜板组件有效
申请号: | 201911038472.5 | 申请日: | 2019-10-29 |
公开(公告)号: | CN110687722B | 公开(公告)日: | 2021-09-03 |
发明(设计)人: | 黄建龙 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G02F1/1337 | 分类号: | G02F1/1337;G03F1/00 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 李新干 |
地址: | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 液涂布 方法 掩膜板 组件 | ||
1.一种配向液涂布方法,其特征在于,包括以下步骤:
提供一掩膜板组件,所述掩膜板组件包括一平板,所述平板上开设有多个呈矩形阵列排布的开口,所述平板还设置多条横向配向液回收槽以及多条纵向配向液回收槽,所述多条横向配向液回收槽以及所述多条纵向配向液回收槽纵横交错并相互连通,以界定出多个矩形区域,每一所述矩形区域内设置有一所述开口;
将所述掩膜板组件覆盖到待涂布配向液的面板上,所述面板包括多个待涂布配向液的目标区域,所述开口的形状及尺寸与所述目标区域的形状及尺寸适配,所述多个开口分别与多个目标区域一一正对;
在每一所述开口中滴下预设量的配向液;
采用刮刀进行刮涂,使得每一所述开口中的配向液均匀分布以形成配向膜。
2.根据权利要求1所述的配向液涂布方法,其特征在于,所述配向膜的厚度与所述掩膜板组件的厚度相互适配。
3.根据权利要求1所述的配向液涂布方法,其特征在于,所述配向液为聚酰亚胺液。
4.根据权利要求1所述的配向液涂布方法,其特征在于,在所述在每一所述开口中滴下预设量的配向液的步骤中,采用具有用于计量出液量的喷嘴模组来滴下预设量的配向液。
5.根据权利要求1所述的配向液涂布方法,其特征在于,所述平板的上表面沿着自身边缘设置有一圈挡墙,所述多个开口位于所述挡墙围成的区域之内。
6.根据权利要求5所述的配向液涂布方法,其特征在于,所述挡墙的两相对的内侧壁上分别设置有一水平滑槽;所述刮刀的两端分别可沿着所述水平滑槽滑动的插接在所述水平滑槽中;所述刮刀可沿着自身轴向旋转。
7.一种掩膜板组件,其特征在于,包括:
一平板,所述平板的上表面沿着自身边缘设置有一圈挡墙,所述平板上开设有多个呈矩形阵列排布的开口,多个所述开口位于所述挡墙围成的区域内,所述开口的形状及尺寸与待涂布的面板上的目标区域的形状及尺寸相适配,所述挡墙的两相对的内侧壁上分别设置有一水平滑槽,所述平板上还设置多条横向配向液回收槽以及多条纵向配向液回收槽,所述多条横向配向液回收槽以及所述多条纵向配向液回收槽纵横交错并相互连通,以界定出多个矩形区域,每一所述矩形区域内设置有一所述开口;
一刮刀,所述刮刀的两端分别可沿着所述水平滑槽滑动的插接在所述水平滑槽中;所述刮刀可沿着自身轴向旋转。
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