[发明专利]影像传感器

权利要求书

1.一种影像传感器，其特征在于，包括：

基底，具有相对的第一面与第二面；

第一栅极，设置在所述第一面的所述基底上；

感光元件，位于所述第一栅极的一侧的所述基底中；

存储节点，位于所述第一栅极的另一侧的所述基底中；

至少一个第一反光层，设置在所述基底中，且位于所述存储节点的周围；

第二反光层，在所述第一面遮蔽所述存储节点，且电连接至所述至少一个第一反光层；以及

第三反光层，在所述第二面遮蔽所述存储节点，且电连接至所述至少一个第一反光层。

2.如权利要求1所述的影像传感器，其中所述至少一个第一反光层从所述第一面延伸至所述第二面。

3.如权利要求1所述的影像传感器，其中所述第二反光层共形地设置在所述第一面。

4.如权利要求1所述的影像传感器，其中所述至少一个第一反光层的材料包括掺杂多晶硅或金属，所述第二反光层的材料包括金属或掺杂多晶硅，且所述第三反光层的材料包括掺杂多晶硅或金属。

5.如权利要求1所述的影像传感器，其中所述影像传感器为背照式影像传感器，所述第二反光层在所述第一面还遮蔽所述感光元件，且所述第三反光层具有暴露出所述感光元件的开口。

6.如权利要求1所述的影像传感器，还包括：

至少一个第四反光层，设置在所述基底中，且位于所述感光元件的周围。

7.如权利要求6所述的影像传感器，还包括：

第一介电层，位于所述至少一个第一反光层与所述基底之间；

第二介电层，位于所述第二反光层与所述基底之间；

第三介电层，位于所述第三反光层与所述基底之间；以及

第四介电层，位于所述第四反光层与所述基底之间。

8.如权利要求1所述的影像传感器，还包括：

第五反光层，设置在所述第三反光层上。

9.如权利要求1所述的影像传感器，还包括：

隔离结构，设置在所述基底中，且围绕部分所述至少一个第一反光层。

10.如权利要求1所述的影像传感器，还包括：

第二栅极，设置在所述第一面的所述基底上，且位于所述存储节点的远离所述第一栅极的一侧；

第三栅极，设置在所述第一面的所述基底上，且位于所述第二栅极的远离所述存储节点的一侧；

第一栅介电层，位于所述第一栅极与所述基底之间；

第二栅介电层，位于所述第二栅极与所述基底之间；以及

第三栅介电层，位于所述第三栅极与所述基底之间。