[发明专利]一种基于PLC的单晶炉水冷系统在审
申请号: | 201911045221.X | 申请日: | 2019-10-30 |
公开(公告)号: | CN112746311A | 公开(公告)日: | 2021-05-04 |
发明(设计)人: | 康志亮;张镭铎;姜继东;谢佳男;牟琴;陈文溆乐;钱美雯 | 申请(专利权)人: | 四川农业大学 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B15/20;C30B29/06 |
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地址: | 611130 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 plc 单晶炉 水冷 系统 | ||
1.一种基于PLC的单晶炉水冷系统,该系统包括:
一变频恒压供水系统(1),以PLC(4)+水泵变频器(5)为控制基础,结合炉体进水口压力传感器(6)反馈值,控制供水系统的水泵机组(8-10)频率,以实现工艺水池(7)自动化恒压供水;一风机冷却水塔系统(2),通过分流管(11),将外循环后的冷却水分成几股流下,再打开风机组(12-15),增大水流表面空气流动速度,达到降温效果,其开启风机组的数目由PLC(4)控制,结合环境温度调节系统降温效果,使冷却水塔对环境温度有自适应性,冷却水塔水泵(16)为冷却水的外循环提供动力,该水泵故障时,相应的备用泵(17)立即启动,将冷却水的流量与流速维持在合理范围内,保证冷却水与工艺水之间充分的板热交换(18);一炉体冷却系统(3),除了传统的上炉体(19)、下炉体冷却装置(20)外,在炉内加入一水冷套(21),主要依托于单晶炉原有的内导流管(26),中间隔以钼制薄壁,内部为双螺旋型水流管道,冷却水经过分流后,由进水口(27)注入,出水口(28)流出,增大硅棒温度纵向梯度,及时导走结晶潜热,从而为单晶炉拉速的提升设下前提,增加单晶产量,在下炉体冷却系统中,还包括需要特别冷却的真空泵(22)、加热电极(23)等部分;此外,当工艺水池储水不足时,备用水站(24)以及净水器(25)打开,为水池补充足够的、合格的工艺水。
2.根据权利要求1所述风机水冷水塔系统,应用于实际生产时,其成本相比于“冰机+冷却水塔”更低。
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