[发明专利]一种基于PLC的单晶炉水冷系统

权利要求书

1.一种基于PLC的单晶炉水冷系统，该系统包括:

一变频恒压供水系统（1），以PLC（4）+水泵变频器（5）为控制基础，结合炉体进水口压力传感器（6）反馈值，控制供水系统的水泵机组（8-10）频率，以实现工艺水池（7）自动化恒压供水；一风机冷却水塔系统（2），通过分流管（11），将外循环后的冷却水分成几股流下，再打开风机组（12-15），增大水流表面空气流动速度，达到降温效果，其开启风机组的数目由PLC（4）控制，结合环境温度调节系统降温效果，使冷却水塔对环境温度有自适应性，冷却水塔水泵（16）为冷却水的外循环提供动力，该水泵故障时，相应的备用泵（17）立即启动，将冷却水的流量与流速维持在合理范围内，保证冷却水与工艺水之间充分的板热交换（18）；一炉体冷却系统（3），除了传统的上炉体（19）、下炉体冷却装置（20）外，在炉内加入一水冷套（21），主要依托于单晶炉原有的内导流管（26），中间隔以钼制薄壁，内部为双螺旋型水流管道，冷却水经过分流后，由进水口（27）注入，出水口（28）流出，增大硅棒温度纵向梯度，及时导走结晶潜热，从而为单晶炉拉速的提升设下前提，增加单晶产量，在下炉体冷却系统中，还包括需要特别冷却的真空泵（22）、加热电极（23）等部分；此外，当工艺水池储水不足时，备用水站（24）以及净水器（25）打开，为水池补充足够的、合格的工艺水。

2.根据权利要求1所述风机水冷水塔系统，应用于实际生产时，其成本相比于“冰机+冷却水塔”更低。