[发明专利]显示装置及其制造方法

说明书

提供了一种显示装置和制造显示装置的方法。所述显示装置包括：基板；所述基板上的第一薄膜晶体管，所述第一薄膜晶体管包括有源层，所述有源层包括源极区、漏极区以及所述源极区和所述漏极区之间的沟道区；以及在所述基板上并电连接到所述第一薄膜晶体管的显示器件。所述源极区、所述漏极区和所述沟道区包括第一掺杂剂和第二掺杂剂，所述第二掺杂剂不同于所述第一掺杂剂。所述沟道区中的所述第一掺杂剂的浓度小于所述源极区和所述漏极区中的所述第一掺杂剂的浓度。

相关申请的交叉引用

2018年10月31日在韩国知识产权局提交的、名称为显示装置及其制造方法的第10-2018-0132563号韩国专利申请通过引用全部合并于此。

技术领域

一个或多个实施例涉及显示装置和制造该显示装置的方法，更具体地，涉及能够通过改善器件特性来改善图像质量的显示装置和制造该显示装置的方法。

背景技术

随着可视地表达各种电信号信息的显示领域迅速发展，已经研究和开发了具有诸如厚度小、重量轻和功耗低等的优良特性的各种平板显示装置。作为自发射型显示装置的有机发光显示装置不需要额外的光源，因此可以以低电压操作并且可以实现重量轻且厚度薄。另外，由于有机发光显示装置的诸如宽视角、高对比度、快速响应速度等的优良特性，有机发光显示装置作为下一代显示装置正在受到关注。

有机发光显示装置包括多个像素。以模拟驱动方法操作的有机发光显示装置的像素根据输入电压或电流数据的大小调节其亮度以表示灰度级，并且以数字驱动方法操作的有机发光显示装置的像素发出具有相同亮度但具有不同发出时间段的光来表示灰度级。

显示装置包括薄膜晶体管和电容器，并通过使用上述器件驱动多个像素和控制像素的发光。

发明内容

提供了一种显示装置和制造显示装置的方法。实施例涉及一种显示装置，其包括：基板；所述基板上的第一薄膜晶体管，所述第一薄膜晶体管包括有源层，所述有源层包括源极区、漏极区以及位于所述源极区和所述漏极区之间的沟道区；以及在所述基板上并电连接到所述第一薄膜晶体管的显示器件。所述源极区、所述漏极区和所述沟道区包括第一掺杂剂和第二掺杂剂，所述第二掺杂剂不同于所述第一掺杂剂。所述沟道区中的所述第一掺杂剂的浓度小于所述源极区和所述漏极区中的所述第一掺杂剂的浓度。

所述第一掺杂剂可以是p型掺杂剂。

所述第二掺杂剂可以是惰性气体离子。

所述第二掺杂剂的浓度在所述源极区、所述漏极区和所述沟道区中可以是均匀的。

所述第一薄膜晶体管还可以包括栅电极、源电极和漏电极，所述源电极和所述漏电极分别连接到所述源极区和所述漏极区。所述显示器件可以包括第一电极和面对所述第一电极的第二电极，所述第一电极电连接到所述源电极和所述漏电极中的一个电极。

所述显示器件还可以包括所述第一电极和所述第二电极之间的中间层，所述中间层包括发射层。

所述第一薄膜晶体管的所述有源层可以包括多晶硅。所述显示装置还可以包括第二薄膜晶体管，所述第二薄膜晶体管包括氧化物半导体。

所述基板可以是柔性基板。

实施例还涉及一种制造显示装置的方法，所述方法包括：在基板上形成薄膜晶体管，所述薄膜晶体管包括有源层，所述有源层包括源极区、漏极区以及所述源极区和所述漏极区之间的沟道区；以及形成电连接到所述薄膜晶体管的显示器件。形成所述薄膜晶体管可以包括：在所述基板上形成非晶硅层；利用第一掺杂剂和第二掺杂剂对所述非晶硅层进行掺杂，所述第二掺杂剂不同于所述第一掺杂剂；使所述非晶硅层结晶；以及通过将结晶的硅层图案化来形成所述有源层。