[发明专利]柔性显示面板及其制备方法

说明书

本申请公开了一种柔性显示面板及其制备方法，制备方法包括：提供一柔性基板，柔性基板至少包括柔性弯折区；在柔性基板上形成无机膜层；对无机膜层上和柔性弯折区对应区域的进行一次刻蚀，以形成具有坡度的深孔；向深孔中填充有机材料以形成有机膜层；在有机膜层和无机膜层上形成金属走线层。通过上述方式，本申请能够缩短制程的流程，降低生产成本，提高产线的生产效率。

技术领域

本申请涉及显示技术领域，特别是涉及一种柔性显示面板及其制备方法。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，简称OLED)由于重量轻、自发光、广视角、驱动电压低、发光效率高、功耗低、响应速度快等优点，应用范围越来越广泛。尤其是柔性有机发光二极管(Flexible OLED)显示装置因其具有可弯折、易携带的特点，成为显示技术领域研究和开发的主要领域。

在OLED的驱动背板制作中光刻模板(Mask)的数量相当重要，一般情况下为了实现柔性显示面板则需要12个以上的光刻模板，而实现高解析度产品，则需要14～15个光刻模板，因工艺中采用光刻模板的个数对柔性显示面板的售价有影响，故光刻模板数越少在价格竞争中越有利。

目前，柔性OLED和非柔性OLED的区别在于，柔性OLED的需要有深孔区(DeepHole)，但现有技术在形成深孔区时需要采用2个光刻模板，工艺制程复杂且成本较高。

发明内容

本申请提供一种柔性显示面板及其制备方法，能够解决现有技术中柔性显示面板深孔区形成时制程复杂及成本高的问题。

为解决上述技术问题，本申请采用的一个技术方案是：提供一种柔性显示面板的制备方法，所述制备方法包括：提供一柔性基板，所述柔性基板至少包括柔性弯折区；在所述柔性基板上形成无机膜层；对所述无机膜层上和所述柔性弯折区对应区域的进行一次刻蚀，以形成具有坡度的深孔；向所述深孔中填充有机材料以形成有机膜层；在所述有机膜层和所述无机膜层上形成金属走线层。

其中，所述对所述无机膜层上和所述柔性弯折区对应区域的进行一次刻蚀，以形成具有坡度的深孔包括：在所述无机膜层上涂覆光刻胶层；图案化所述光刻胶层，以至少暴露和所述有机膜层对应的所述柔性弯折区；对所述柔性弯折区进行刻蚀以形成具有坡度的所述深孔。

其中，所述光刻胶层的厚度大于或等于2.5um。

其中，所述对所述柔性弯折区进行一次刻蚀的时间范围为450s-600s。

其中，所述对所述柔性弯折区刻蚀采用干法刻蚀。

其中，所述图案化所述光刻胶层，以至少暴露和所述有机膜层对应的所述柔性弯折区包括：采用预设图案的光刻模板对准所述光刻胶层；通过曝光将所述预设图案转移到所述光刻胶层上；通过显影将所述预设图案复制到所述光刻胶层上，以至少暴露和所述有机膜层对应的所述柔性弯折区。

其中，所述在所述柔性基板上形成无机膜层包括：在所述柔性基板上依次沉积并图案化形成组隔层、缓冲层、有源层、第一栅极绝缘层、栅极层和第二栅极绝缘层及漏极层。

其中，所述制备方法进一步包括：在所述金属走线层依次形成平坦层、阳极层、像素层及支撑层，以制成所述柔性显示面板。

其中，所述有机膜层上的所述金属走线层包括镂空状的金属走线设计。

为解决上述技术问题，本申请采用的另一个技术方案是：提供一种柔性显示面板，所述柔性显示面板包括柔性基板，所述柔性基板至少包括柔性弯折区、依次设置在所述柔性基板上的无机膜层、有机膜层及设置在所述无机膜层和所述有机膜层上的金属走线层；其中，所述无机膜层对应所述柔性弯折区处具有深孔，所述有机膜层至少填充于所述深孔中，所述有机膜层、所述深孔及所述无机膜层的制备方法上述任一所述的制备方法。