[发明专利]DT-STAR材质激光切割镜片蚀刻液及其使用方法

权利要求书

1.DT-STAR材质激光切割镜片蚀刻液，其特征在于：所述的化学强化玻璃用激光酸液按重量份数计，其制备原料包括：30～35份的硫酸溶液、10～12份的氢氟酸溶液和55～60份的水。

2.根据权利要求1所述的DT-STAR材质激光切割镜片蚀刻液，其特征在于：所述的化学强化玻璃的厚度为0.5～0.6mm，所述的化学强化玻璃的硬度为摩氏为7～9，所述的化学强化玻璃的熔点为2000～3000℃，所述的化学强化玻璃的透光率为90～100％，所述的化学强化玻璃的密度为20～30g/cm³。

3.根据权利要求1所述的DT-STAR材质激光切割镜片蚀刻液，其特征在于：所述的硫酸溶液中含有的硫酸分子的重量分数为75～98.3wt％。

4.根据权利要求1所述的DT-STAR材质激光切割镜片蚀刻液，其特征在于：所述的氢氟酸溶液中含有的氢氟酸分子的重量分数为10～40wt％，所述的氢氟酸溶液中含有的氯化物的含量为0～0.001wt％，所述的氢氟酸溶液中含有的硫酸盐的含量为0～0.002wt％。

5.根据权利要求1所述的DT-STAR材质激光切割镜片蚀刻液，其特征在于：所述的硫酸溶液和氢氟酸溶液的重量之比为2.5～3：1。

6.一种使用权利要求1所述的DT-STAR材质激光切割镜片蚀刻液进行激光刻蚀的方法，其特征在于：所述的激光刻蚀方法包括以下步骤：

S1分别取经预处理的化学强化玻璃，于其外表面上涂覆光刻胶，并将所述光刻胶图形化；

S2取经步骤S1处理的化学强化玻璃，置于所述的酸液中进行湿法刻蚀处理；

S3取经步骤S2处理的化学强化玻璃清洗处理。

7.根据权利要求6所述的DT-STAR材质激光切割镜片蚀刻液的使用方法，其特征在于：所述的步骤S1中化学强化玻璃的预处理的方法为：取化学强化玻璃，依次经第一次预清洗、第一次抛光、第二次预清洗、第二次抛光、第三次预清洗、第四次预清洗和水洗。

8.根据权利要求6所述的DT-STAR材质激光切割镜片蚀刻液的使用方法，其特征在于：所述的步骤S3中清洗后的化学强化玻璃的蚀刻减薄量40～60μm。