[发明专利]微型发光二极管的显示阵列及其制作方法

说明书

本发明公开了一种微型发光二极管的显示阵列及其制作方法，属于半导体技术领域。所述显示阵列包括电路板和多个间隔设置在所述电路板上的发光芯片；每个所述发光芯片包括依次层叠在所述电路板上的P型电极、空穴产生层、有源层、电子产生层和N型电极；所述电子产生层的第一表面区域设有向所述有源层延伸的凹槽，所述第一表面区域内的点与所述发光芯片的边缘之间的距离小于第一阈值；所述凹槽内的所述电子产生层的第二表面区域注入有镁离子，所述第二表面区域内的点与所述发光芯片的边缘之间的距离在第二阈值和第三阈值之间，所述第二阈值小于所述第三阈值，所述第三阈值小于所述第一阈值。本公开可减少相邻两个Micro LED之间的光耦合。

技术领域

本公开涉及半导体技术领域，特别涉及一种微型发光二极管的显示阵列及其制作方法。

背景技术

发光二极管(英文：Light Emitting Diode，简称：LED)是一种常用的发光器件，通过电子与空穴复合释放能量发光，广泛地应用在日常生活中的显示、装饰、通讯和照明等领域。通过采用不同的半导体材料和结构，发光二极管能够覆盖从紫外到红外的全色范围，基本占据了室内和室外的大间距显示器市场。其中，间距是指显示器中相邻两个显示单元之间的距离，与显示器的分辨率有关。

当前小间距显示器市场仍以液晶显示器(英文：Liquid Crystal Display，简称：LCD)为主流。虽然有机发光二极管(英文：Organic Light-Emitting Diode，简称：OLED)正在某些领域替代LCD成为主流，但是OLED存在烧屏等问题。微型发光二极管(英文：MicroLED)是指边长在10微米～100微米的超小型发光二极管，体积小，可以更密集地排列在一起而大幅提高分辨率，并且具有自发光特性，在高亮度、高对比度、快速反应和省电等方面都优于LCD和OLED，未来很可能会进一步占据小间距显示器市场。

在实现本公开的过程中，发明人发现现有技术至少存在以下问题：

Micro LED的体积和间距都很小，相邻两个Micro LED之间存在光耦合而相互干扰，造成显示图像的边界轮廓模糊、不清晰，目前无法应用在小间距显示器上。

发明内容

本公开实施例提供了一种微型发光二极管的显示阵列及其制作方法，有利于减少相邻两个Micro LED之间的光耦合，提高显示图像边界轮廓的清晰度。

所述技术方案如下：

一方面，本公开实施例提供了一种微型发光二极管的显示阵列，所述显示阵列包括电路板和多个间隔设置在所述电路板上的发光芯片；每个所述发光芯片包括依次层叠在所述电路板上的P型电极、空穴产生层、有源层、电子产生层和N型电极；所述电子产生层的第一表面区域设有向所述有源层延伸的凹槽，所述第一表面区域内的点与所述发光芯片的边缘之间的距离小于第一阈值；所述凹槽内的所述电子产生层的第二表面区域注入有镁离子，所述第二表面区域内的点与所述发光芯片的边缘之间的距离在第二阈值和第三阈值之间，所述第二阈值小于所述第三阈值，所述第三阈值小于所述第一阈值。

可选地，所述第一表面区域的电子产生层的厚度为0.4μm～0.6μm，所述第二表面区域的电子产生层中镁离子与所述有源层之间的最小距离为0.08μm～0.12μm。

进一步地，所述第二阈值为0.25μm～0.35μm，所述第三阈值为0.55μm～0.65μm，所述第一阈值为0.9μm～1.1μm。

可选地，所述电子产生层的第二表面区域还注入有氧离子。

可选地，所述显示阵列还包括吸光块，所述吸光块设置在相邻两个所述发光芯片之间的电路板上，所述吸光块的高度与所述发光芯片的高度相等。