[发明专利]一种基于MES系统的LED晶圆点测自动化系统

说明书

本发明公开了一种基于MES系统的LED晶圆点测自动化系统，通过采用系统管理的思维，LED芯片测试机与MES系统进行实时数据交互，使MES系统可以实时获取测试设备运行状态，从而进行统计分析和管理。

技术领域

本发明涉及LED芯片测试生产技术领域，尤其是涉及一种基于MES系统的LED晶圆点测自动化系统。

背景技术

LED晶圆是LED的核心部分，事实上，LED的波长、亮度、正向电压等主要光电参数基本上取决于晶圆材料。LED的相关电路元件的加工与制作都是在晶圆上完成的，所以晶圆技术与设备是晶圆制造技术的关键所在。

传统的LED晶圆测试流程一般分为设备工程师在LED芯片测试机建立测试程序，工艺工程师检查确认参数是否正确，然后开始生产。生产完成后，操作员移动测试结果数据到文件服务器中工程师指定文件夹，然后触发后台系统进行数据处理。生产过程中设备的运行状态由操作员纸档记录，或是操作员触发MES系统进行记录。

然而在实际生产的过程中，工艺工程师只能保证每台测试设备首次输入的测试参数是正确的，后续经过多次测试后，若设备的测试参数被故意或意外修，则无法保证参数在后续生产过程中的持续准确性。

目前中等规模的LED芯片测试厂设备数量通常在300台以上，量产期间每台设备每个程序调用前检查程序参数耗费工程师精力过多，是一项既繁琐又不增值的工作。测试完成后，操作员移动测试结果数据，会有遗漏或是移错位置的风险；移动测试结果数据同样也是一项不增值且耗费时间的工作。

因此急需对现有的MES系统进行改进。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本发明的目的是提供一种基于MES系统的LED晶圆点测自动化系统，以解决上述问题。

为了实现上述目的，本发明所采用的技术方案是：

一种基于MES系统的LED晶圆点测自动化系统，包括以下步骤：

1)将参与到LED晶圆点测生产的LED芯片测试机与MES系统进行联网，进行实时数据交互；

2)在MES系统中注册LED芯片测试机程序参数的基准档案；

3)在LED芯片测试机中建立参数输入程序和生产调用程序，通过参数输入程序输入对应的测试参数，参数输入完毕后打开生产调用程序；

4)打开生产调用程序后MES系统调用参数输入程序输入的测试参数，与MES系统中的基准档案记性对比，当输入的测试参数与基准档案中的参数无法对应，设备报错，生产停止，当输入的测试参数与基准档案中的参数配对正确，LED芯片测试机将测试参数载入，操作人员按下设备开始按钮启动测试生产；

5)测试生产过程中，设备持续采集LED晶圆的测试数据，并且与输入的测试参数进行对比，当设备没有采集到测试数据，生产发生异常，设备报错，当设备持续有检测数据录入，生产过程正常进行，直至产品全部检测完成；

6)当所有LED晶圆完成检测，LED芯片测试机通过Port command方式发送指令给MES系统，系统自动开始采集当前晶圆测试结果数据。

进一步的技术方案中，在步骤4)中，当输入的测试参数与基准档案中的参数无法对应，LED芯片测试机的操作系统中弹出错误信息框Error Message，并且显示有“机台数据信息判断错误”的红色字样。

进一步的技术方案中，步骤2)录入至MES系统中的程序参数至少包括机台类型、测试项目、参数最大值与最小值。

采用上述方法，本发明和现有技术相比所具有的优点是：本发明采用系统管理的思维，LED芯片测试机与MES系统进行实时数据交互，使MES系统可以实时获取测试设备运行状态，从而进行统计分析和管理。

附图说明