[发明专利]一种导流均流装置有效
申请号: | 201911056713.9 | 申请日: | 2019-10-31 |
公开(公告)号: | CN112748642B | 公开(公告)日: | 2022-06-21 |
发明(设计)人: | 张瑞平;王伟伟;杨玉杰;龚辉;王桂昇 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
地址: | 201203 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 导流 装置 | ||
1.一种导流均流装置,其特征在于,包括:
均流组件(1),其包括罩壳(11),所述罩壳(11)安装于风机末端空间壁面(3)上,所述罩壳(11)的表面上开设有多个均流孔(12);
导流组件(2),其设置于所述罩壳(11)内,所述导流组件(2)包括导流板(21);
所述导流组件(2)还包括支撑架(22),所述支撑架(22)安装于所述风机末端空间壁面(3)上,所述导流板(21)能够角度可调地设置于所述支撑架(22)上。
2.根据权利要求1所述的导流均流装置,其特征在于,所述导流组件(2)还包括连接件(23),所述连接件(23)设置于所述支撑架(22)上,所述导流板(21)角度可调地设置于所述连接件(23)上。
3.根据权利要求2所述的导流均流装置,其特征在于,所述连接件(23)位置可调地设置于所述支撑架(22)上。
4.根据权利要求3所述的导流均流装置,其特征在于,所述支撑架(22)上开设有长槽(221),所述连接件(23)可选择地安装于所述长槽(221)的任一位置上。
5.根据权利要求4所述的导流均流装置,其特征在于,所述连接件(23)包括第一连接部(231),所述导流板(21)角度可调地设置于所述第一连接部(231)上。
6.根据权利要求5所述的导流均流装置,其特征在于,所述第一连接部(231)上设置有角度测量装置(233),所述角度测量装置(233)用于测量所述导流板(21)转动的角度。
7.根据权利要求5所述的导流均流装置,其特征在于,所述连接件(23)还包括第二连接部(232),所述第二连接部(232)与所述第一连接部(231)连接,所述第二连接部(232)可选择地安装于所述长槽(221)的任一位置上。
8.根据权利要求4所述的导流均流装置,其特征在于,所述支撑架(22)包括第一支撑部(222)和第二支撑部(223),所述第一支撑部(222)的两端均设有所述第二支撑部(223),所述第一支撑部(222)与所述罩壳(11)的顶面连接,所述第二支撑部(223)与所述风机末端空间壁面(3)连接,每个所述第二支撑部(223)上均设置有所述长槽(221)。
9.根据权利要求8所述的导流均流装置,其特征在于,所述支撑架(22)的数量为至少两个,所述导流板(21)的两端分别与相邻的两个所述支撑架(22)中齐平的所述长槽(221)连接。
10.根据权利要求9所述的导流均流装置,其特征在于,所述导流板(21)的数量为至少一个,每个所述导流板(21)的两端均与相邻的两个所述支撑架(22)中齐平的所述长槽(221)连接。
11.根据权利要求10所述的导流均流装置,其特征在于,位于所述支撑架(22)同一侧的所述导流板(21)的数量设置为四个,且四个所述导流板(21)等间隔平行连接于所述长槽(221)中。
12.根据权利要求6所述的导流均流装置,其特征在于,所述角度测量装置(233)为刻度盘。
13.根据权利要求1-12任一项所述的导流均流装置,其特征在于,所述导流板(21)为平板结构。
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