[发明专利]一种导流均流装置

说明书

本发明涉及光刻设备技术领域，公开一种导流均流装置。所述导流均流装置包括均流组件和导流组件，均流组件包括罩壳，罩壳安装于风机末端空间壁面上，导流组件设置于罩壳内，且罩壳的表面上开设有多个均流孔。风机出风从风机末端空间壁面流入罩壳内，并在导流组件的导流下，从多个均流孔中流出，使得该导流均流装置实现导流和均流的双重作用，保持风机末端静压腔压力和温度均匀，提高光路的均匀性，且提高换热效率，保护光刻设备中部件不受损坏，延长部件的使用寿命。本发明中的导流组件包括导流板，导流板角度可调地设置于风机末端空间壁面上，可以根据不同的工况调整导流板的角度，不需重新设计导流均流装置，提高了其适用性。

技术领域

本发明涉及光刻设备技术领域，尤其涉及一种导流均流装置。

背景技术

在光刻机设备环境分系统中广泛应用风机来实现光刻设备的气浴供风及环境回风，其利用风机来实现光刻设备供风和回风的特点是流量大，流速高。并且，风机末端经常连接有过滤器，换热器，温度控制装置等部件，受风机出风流量大，流速高等特点的影响，仅对其出风进行导流设置有可能会造成过滤器的损坏、换热效率低下、气浴温度难以精确控制等问题。由此，针对风机出风不但要实现对其进行有效的导流，同时也要对其进行有效的均流。

现有技术中，导流均流装置能够实现对风机出风的导流和均流，但是需要根据不同工况重新设计该导流均流装置，设计周期长，适用性差。

因此，亟需提供一种导流均流装置，以解决上述问题。

发明内容

基于以上所述，本发明的目的在于提供一种导流均流装置，能提高光路的均匀性，且提高换热效率，保护光刻设备中部件不受损坏，延长部件的使用寿命。

为达上述目的，本发明采用以下技术方案：

一种导流均流装置，

一种导流均流装置，包括：

均流组件，其包括罩壳，所述罩壳安装于风机末端空间壁面上，所述罩壳的表面上开设有多个均流孔；

导流组件，其设置于所述罩壳内，所述导流组件包括导流板，所述导流板能够角度可调地设置于所述风机末端空间壁面上。

进一步地，所述导流组件还包括支撑架，所述支撑架安装于所述风机末端空间壁面上，所述导流板能够角度可调地设置于所述支撑架上。

进一步地，所述导流组件还包括连接件，所述连接件设置于所述支撑架上，所述导流板角度可调地设置于所述连接件上。

进一步地，所述连接件位置可调地设置于所述支撑架上。

进一步地，所述支撑架上开设有长槽，所述连接件可选择地安装于所述长槽的任一位置上。

进一步地，所述连接件包括第一连接部，所述导流板角度可调地设置于所述第一连接部上。

进一步地，所述第一连接部上设置有角度测量装置，所述角度测量装置用于测量所述导流板转动的角度。

进一步地，所述连接件还包括第二连接部，所述第二连接部与所述第一连接部连接，所述第二连接部可选择地安装于所述长槽的任一位置上。

进一步地，所述支撑架包括第一支撑部和第二支撑部，所述第一支撑部的两端均设有所述第二支撑部，所述第一支撑部与所述罩壳的顶面连接，所述第二支撑部与所述风机末端空间壁面连接，每个所述第二支撑部上均设置有所述长槽。

进一步地，所述支撑架的数量为至少两个，所述导流板的两端分别与相邻的两个所述支撑架中齐平的所述长槽连接。

进一步地，所述导流板的数量为至少一个，每个所述导流板的两端均与相邻的两个所述支撑架中齐平的所述长槽连接。