[发明专利]基底支撑装置和使用该基底支撑装置抛光基底的方法在审
| 申请号： | 201911058079.2 | 申请日： | 2019-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN111136575A | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 秋秉权;姜胜培;裵俊和;姜奉求;朴廷敏;梁熙星;曹雨辰 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/30;B24B57/02 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 田野;刘灿强 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基底 支撑 装置 使用 抛光 方法 | ||
1.一种基底支撑装置，所述基底支撑装置包括：
多孔吸盘，位于框架中；
吸附垫，在所述多孔吸盘上；以及
粘合剂层，位于所述多孔吸盘与所述吸附垫之间，
其中：
所述吸附垫包括弹性层和与所述弹性层结合的多孔层，
所述粘合剂层、所述弹性层和所述多孔层中的每个包括分别在厚度方向上延伸的贯穿部分，以及
所述吸附垫具有100或更小的Asker C硬度值。
2.根据权利要求1所述的基底支撑装置，其中，所述吸附垫的所述弹性层和所述多孔层中的每个包括聚氨酯、聚丙烯酸酯、聚二甲基硅氧烷和聚氨酯丙烯酸酯中的至少一种。
3.根据权利要求1所述的基底支撑装置，其中，所述吸附垫的所述弹性层和所述多孔层中的每个包括浸渍有聚合物的织物。
4.根据权利要求2所述的基底支撑装置，其中，所述吸附垫的所述弹性层和所述多孔层包括彼此不同的材料。
5.根据权利要求2所述的基底支撑装置，其中，所述吸附垫的所述弹性层和所述多孔层包括相同的材料。
6.根据权利要求1所述的基底支撑装置，其中，所述吸附垫的所述多孔层包括平均直径小于100μm的气孔。
7.根据权利要求1所述的基底支撑装置，其中，所述贯穿部分具有小于100μm的平均直径。
8.根据权利要求1所述的基底支撑装置，其中，所述吸附垫具有50或更小的Asker C硬度值。
9.一种抛光基底的方法，所述方法包括：
将基底设置在基底支撑装置上，所述基底支撑装置包括依次堆叠在框架中的多孔吸盘、粘合剂层和吸附垫；
通过施加负压将所述基底固定到所述基底支撑装置；以及
使用浆料抛光所述基底。
10.根据权利要求9所述方法，其中，所述吸附垫包括弹性层和与所述弹性层结合的多孔层，
其中：
所述粘合剂层、所述弹性层和所述多孔层中的每个包括分别在厚度方向上延伸的贯穿部分，以及
所述吸附垫具有100或更小的Asker C硬度值。
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