[发明专利]一种溅镀托盘及溅镀治具

权利要求书

1.一种溅镀托盘，位于溅镀腔室内的靶材正下方，其上摆放装有待溅镀产品的治具，其特征在于，包括：

托盘本体；以及，

若干支撑结构，设置在所述托盘本体上，所述支撑结构具有用于使其上摆放的所述治具朝向托盘本体的中轴线倾斜的支撑面，所述支撑面远离所述中轴线一边的高度高于靠近所述中轴线一边的高度。

2.根据权利要求1所述的溅镀托盘，其特征在于：每四个所述支撑结构一组支撑一个治具，对称设置的两个所述治具分居托盘本体的中轴线两侧。

3.根据权利要求2所述的溅镀托盘，其特征在于：在所述托盘本体远离所述中轴线的两边上对称设置有两个外挡条，且所述外挡条与所述中轴线平行。

4.根据权利要求2所述的溅镀托盘，其特征在于：于所述托盘本体上，在所述治具远离所述托盘本体的中轴线一侧设置有内挡条，且两个对称设置的所述治具的内挡条与所述中轴线平行，所述内挡条上开设有与所述治具远离所述托盘本体的中轴线一侧的边框相匹配的第一安置槽。

5.根据权利要求4所述的溅镀托盘，其特征在于：所述托盘本体沿中轴线处安装有中间挡条，且所述中间挡条上开设有第二安置槽，所述第二安置槽与所述治具靠近所述托盘本体的中轴线一侧边框相匹配。

6.根据权利要求2所述的溅镀托盘，其特征在于：所述支撑结构由底座和位于底座上的凸台组成，所述的底座在远离托盘本体的一端面为倾斜的支撑面，且所述支撑面在远离所述托盘本体的中轴线一边的高度高于靠近所述中轴线一边的高度，支撑同一治具的四个所述支撑结构的支撑面位于同一倾斜面上。

7.根据权利要求6所述的溅镀托盘，其特征在于：所述支撑结构的支撑面与水平面的夹角为1°～5°。

8.根据权利要求6所述的溅镀托盘，其特征在于：所述支撑结构的凸台在远离所述托盘本体的端面为斜面，支撑同一治具的四个所述支撑结构的凸台的斜面位于同一倾斜面上，所述倾斜面与所述支撑面平行。

9.根据权利要求6所述的溅镀托盘，其特征在于：所述支撑结构的底座上开设有若干安装孔，用于将所述支撑结构安装在所述托盘本体上。

10.一种溅镀治具，其特征在于，应用于权利要求6～9所述的溅镀托盘，所述的溅镀治具在靠近所述溅镀托盘的一面上设置有与所述支撑结构的凸台配合的安置槽。