[发明专利]一种圆腔体内环形电极等离子体放电的装置在审
申请号: | 201911067925.7 | 申请日: | 2019-11-04 |
公开(公告)号: | CN110798958A | 公开(公告)日: | 2020-02-14 |
发明(设计)人: | 詹铁锤;程光周;徐佳圆;倪红德 | 申请(专利权)人: | 合肥杰硕真空科技有限公司 |
主分类号: | H05H1/46 | 分类号: | H05H1/46 |
代理公司: | 41166 郑州欧凯专利代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 郭辽原 |
地址: | 230000 安徽省合肥市经济技*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电极 放电 放电室 环形电极 法兰盘 室内 上套 套接 圆柱形管状结构 电极等离子体 空间利用率 圆盘状结构 放电空间 环形套状 体内环形 绝缘套 外圆 圆腔 三维 室外 均衡 | ||
1.一种圆腔体内环形电极等离子体放电的装置,包括放电室(1)、放电室(1)两端套接的法兰盘电极(2)与放电室(1)外圆上套配的环形电极(3),其特征在于:所述放电室(1)的主体为圆柱形管状结构,且在放电室(1)的外圆上套配有环形套状结构的两个环形电极(3),所述放电室(1)的左右两端分别套接有圆盘状结构的法兰盘电极(2),所述法兰盘电极(2)的内侧设有与放电室(1)的两端相套配的环形结构的内固定槽口(201),且在法兰盘电极(2)的外侧设有环形结构的外固定槽口(202);
所述两个法兰盘电极(2)分别与同一极电极电性相连,且两个环形电极(3)均与另一极电极电性相连。
2.根据权利要求1所述的一种圆腔体内环形电极等离子体放电的装置,其特征在于:所述环形电极(3)的主体为环形板状结构的电极板(301),所述电极板(301)的首尾相邻,且在电极板(301)的首尾处分别固定连接有两个向外沿伸锁紧板(302),所述锁紧板(302)通过螺栓组I(303)相固定连接在一起。
3.根据权利要求1所述的一种圆腔体内环形电极等离子体放电的装置,其特征在于:所述放电室(1)的主体为圆柱形管状结构的绝缘管(101),且在绝缘管(101)外侧所套装有弹性绝缘套(102)。
4.根据权利要求1所述的一种圆腔体内环形电极等离子体放电的装置,其特征在于:所述且在外固定槽口(202)内并且在两个法兰盘电极(2)中间固定套装有支撑架(7),所述支撑架(7)的左右两侧设有与外固定槽口(202)相套配的环形结构的固定环(701),且在固定环(701)的中下方水平设有桥状结构的水平撑(702),所述水平撑(702)的上端并且在两个固定环(701)之间通过螺栓固定安装有板状结构的放料板(703)。
5.根据权利要求1所述的一种圆腔体内环形电极等离子体放电的装置,其特征在于:所述法兰盘电极(2)的外侧面上嵌配有密封环(203),所述放电室(1)前端法兰盘电极(2)的外侧铰接有密封门(4),且在放电室(1)后端法兰盘电极(2)的外侧通过螺栓固定连接有封盖(5)。
6.根据权利要求1所述的一种圆腔体内环形电极等离子体放电的装置,其特征在于:所述放电室(1)的前后两端并且在法兰盘电极(2)的下端设有固定座(6),所述固定座(6)的下端设有板状结构的支撑板(601),且在支撑板(601)的上端设有与法兰盘电极(2)的外圆相贴合的圆弧形凸台结构的支撑块(602)。
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